[发明专利]一种高温转盘储料装置及方法

说明书

本发明公开了一种高温转盘储料装置及方法，包括高温转盘系统，所述高温转盘系统包括工作台、直线运动模组、旋转运动模组、高温储料转盘、取放吸嘴机构，通过位置定点的芯片产品取放吸嘴机构，即在同一位置将产品放于高温转盘或从高温转盘取出，通过旋转运动模组与直线运动模组，使生产中将每颗芯片产品依次放于高温转盘，先进先出的储料方法原则，实现对高温转盘的每颗产品进行相同时间的受热，达到高温测试前对产品预热的功能要求。本发明不仅可以节省产品移载设备，而且减少产品生产搬运环节，同时提升了产品质量。

技术领域

本发明涉及一种高温转盘储料装置及方法，属于半导体芯片测试技术领域。

背景技术

半导体芯片产品高温测试生产过程中，需要将产品转移至高温箱体内进行高温加热，使产品充份受热，以达到对半导体芯片产品的高温测度检查要求。

已有技术方法是先将半导体芯片产品通过移载设备放入长方形金属载盘中，金属载盘可以储存一定数量的产品，再将储放有产品的金属载盘转移至高温箱体进行加热。这种做法存在以下缺点：1.生产需要配置产品移载设备，产品转移工序复杂。

2.产品高温加热后不能快速转移给后到工序。3.产品生产中转移搬运次数较多，需要配置较多人力。4.产品在搬运过程中容易使产品侧翻或位移，影响后工序生产。5.这种方法生产效率低、质量不稳定，不适用于微小半导体芯片产品生产。6.不利自动化集成生产需要，不适用于在线式实时高温半导体芯片产品测试生产需要。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种高温转盘储料装置及方法，本发明是一种在线式对半导体芯片产品高温加热测试检验生产的储料方法，能够适用于自动化集成生产需要，方便产品高温加热后快速转移，是为后道高温测试作前期预热储料的装置。半导体芯片产品高温测试生产过程中，可以在同一台设备中快速将产品放入高温转盘，并转移至高温箱体内进行高温加热，并且快速的从高温转盘取出高温加热后的产品，实现高温环境下在线式对高温半导体芯片产品测试生产的储料方法，适用于自动化集成生产需要，方便产品高温加热后快速转移后道高温测试工序，有利于对产品实时高温测试。

技术方案：为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种高温转盘储料装置，包括高温转盘系统，所述高温转盘系统包括工作台、直线运动模组、旋转运动模组、高温储料转盘、取放吸嘴机构，所述直线运动模组的固定端安装在工作台上，所述旋转运动模组的固定端安装在直线运动模组的驱动端上，所述高温储料转盘安装于旋转运动模组的旋转端上，所述高温储料转盘的上表面设置有产品储放定位型腔，所述产品储放定位型腔包括一圈以上的产品储放定位单元，所述产品储放定位单元之间在高温储料转盘上同圆心设置。所述产品储放定位单元包括产品储放定位模块，所述产品储放定位模块沿高温储料转盘的圆心周向设置。所述取放吸嘴机构安装在工作台上，且所述取放吸嘴机构的取放吸嘴位于高温储料转盘的上方。

优选的：包括散热单元，所述散热单元用于对直线运动模组、旋转运动模组进行隔热散热。

优选的：所述直线运动模组包括电机安装座、伺服电机、联轴器、丝杆副、丝杆前固定座、丝杆后固定座、直线导轨副、移动承载底板，所述伺服电机通过电机安装座安装在工作台上，所述丝杆副的前端通过丝杆前固定座安装在工作台上，所述丝杆副的后端通过丝杆后固定座安装在工作台上，所述丝杆副的前端通过联轴器与伺服电机驱动连接。所述直线导轨副安装在工作台上，所述移动承载底板安装在直线导轨副上，且所述移动承载底板与直线导轨副滑动连接。所述丝杆副的丝母与移动承载底板固定连接。

优选的：所述直线运动模组包括前极限传感器、后极限传感器、原点传感器，所述前极限传感器安装工作台上位于丝杆副的前端一侧，所述后极限传感器安装工作台上位于丝杆副的后端一侧，所述原点传感器安装在前极限传感器与后极限传感器之间。

优选的：所述前极限传感器、后极限传感器、原点传感器均为光电传感器，光电传感器的外侧设置有传感器遮光片，光电传感器通过传感器固定座安装在工作台上。