[发明专利]一种固晶机及固晶方法

权利要求书

1.一种固晶机，其特征在于：包括转塔(1)、转塔驱动机构、多个晶元拾取装置(12)、第一视觉对位系统(9)，所述转塔驱动机构用于驱动所述转塔(1)进行转动，多个所述晶元拾取装置(12)安装在所述转塔(1)上，所述晶元拾取装置(12)在转塔(1)上能够进行Z轴上下移动、以及自旋转运动，所述晶元拾取装置(12)设有标定孔(11)，在所述晶元拾取装置(12)未达到固晶工位之前，所述第一视觉对位系统(9)对标定孔(11)进行拍照，对转塔(1)进行精度补偿，计算转塔(1)与固晶台(5)的补偿值误差,给出固晶台(5)的补偿值，保证转塔(1)到位精度的变化不会影响贴装精度。

2.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于：该固晶机还包括照明灯，所述第一视觉对位系统(9)位于标定孔(11)上方，所述照明灯位于所述标定孔(11)下方，所述照明灯用于从标定孔(11)底部打光或补光。

3.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于：所述转塔驱动机构为DD马达，该固晶机还包括导轨、直线电机、微型步进电机，导轨与转塔(1)相连，所述晶元拾取装置(12)安装在所述导轨上，所述直线电机驱动所述晶元拾取装置(12)在所述导轨上进行Z轴上下移动；所述微型步进电机驱动所述晶元拾取装置(12)进行自旋转运动。

4.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于：该固晶机还包括晶元供给机构(2)、第二视觉对位系统(8)、顶针、静电消除模块(3)、第一视觉侦测系统(4)、固晶台(5)、第三视觉对位系统(10)，

所述晶元供给机构(2)、第二视觉对位系统(8)和顶针位于取晶工位，当所述晶元拾取装置(12)转到取晶工位时，第二视觉对位系统(8)实时拍照确定晶元位置，通过顶针将晶元供给机构(2)上的晶元顶起，由晶元拾取装置(12)拾取晶元；

所述静电消除模块(3)位于静电去除工位，当所述晶元拾取装置(12)转到所述静电去除工位时，所述静电消除模块(3)用于消除所述晶元拾取装置(12)的静电离子；

所述第一视觉侦测系统(4)位于晶元校正工位，当所述晶元拾取装置(12)转到所述晶元校正工位时，所述第一视觉侦测系统(4)对所述晶元拾取装置(12)及晶元进行拍照，得到晶元相对于晶元拾取装置(12)的位置，如果晶元角度偏转，将转塔(1)上的晶元拾取装置(12)进行自旋转纠偏；

所述固晶台(5)和所述第三视觉对位系统(10)位于固晶工位，所述固晶台(5)上放置有电路板，当所述晶元拾取装置(12)转到固晶工位时，由所述第三视觉对位系统(10)对电路板进行拍照，确定电路板上的焊盘位置，然后由晶元拾取装置(12)将晶元贴合在焊盘上。

5.根据权利要求4所述的固晶机，其特征在于：所述晶元供给机构(2)包括移动台、晶元环、导轨、磁铁线性电机、步进电机，所述晶元环上安装有蓝膜，晶元布置在蓝膜上，所述晶元环安装在移动台上，所述移动台安装在导轨上，所述磁铁线性电机驱动所述移动台在导轨上进行X、Y两轴的左右移动，所述步进电机用于驱动所述晶元环进行自旋转。

6.根据权利要求4所述的固晶机，其特征在于：所述第一视觉侦测系统(4)包括CCD视觉模块和光源，通过光源发出光，通过LCD图形发生器，再通过投影镜头将结构光投影到待测的基板，最后通过一个或多个高级别的相机进行采集图像，进行预处理后，采用图像处理的算法，对图像进行分析比较判断，最后给出识别的结构。

7.根据权利要求4所述的固晶机，其特征在于：所述晶元拾取装置(12)包括拾取头，通过所述拾取头完成取晶和固晶，该固晶机还包括清洁机构(7)，所述清洁机构(7)位于清洁工位；当所述晶元拾取装置(12)位于晶元校正工位时，如果第一视觉侦测系统(4)检测到拾取头有污滞或晶元损伤，那么晶元拾取装置(12)跳过固晶工位，晶元拾取装置(12)转到清洁工位，由所述清洁机构(7)对拾取头进行清洁、并将晶元清理掉。