[发明专利]微机电系统轴的耦合效应的检测、校正和补偿

权利要求书

1.一种振荡器控制系统，包括：

振荡器结构，被配置为根据利萨茹图案来同时围绕第一旋转轴线和第二旋转轴线振荡，所述利萨茹图案逐帧地进行重复，其中围绕所述第二旋转轴线的振荡将确定性交叉耦合误差施加到围绕所述第一旋转轴线的振荡上，并且其中所述确定性交叉耦合误差根据所述利萨茹图案内的利萨茹位置而改变；

驱动器电路，被配置为生成用于以第一驱动频率围绕所述第一旋转轴线驱动所述振荡器结构的第一驱动信号并且生成用于以不同于所述第一驱动频率的第二驱动频率围绕所述第二旋转轴线驱动第二振荡器结构的第二驱动信号，以生成所述利萨茹图案，

其中所述驱动器电路包括被配置为调节围绕所述第一旋转轴线的所述振荡的锁相环PLL，

其中所述PLL被配置为基于围绕所述第一旋转轴线的所述振荡的相位误差生成PLL信号，

其中所述PLL包括补偿电路，所述补偿电路被配置为接收所述PLL信号和指示所述利萨茹图案内的所述利萨茹位置的利萨茹位置信号，

其中所述补偿电路被配置为将补偿值应用于所述PLL信号，从而修改所述PLL信号以生成用于生成所述第一驱动信号的已补偿PLL信号，其中所述补偿电路被配置为基于由所述利萨茹位置信号指示的所述利萨茹位置确定所述补偿值。

2.根据权利要求1所述的振荡器控制系统，其中所述补偿电路被配置为接收包括第一组补偿值的补偿信息，其中所述第一组补偿值中的每个补偿值被编码到所述利萨茹图案内的不同利萨茹位置，以及

其中所述补偿电路被配置为基于由所述利萨茹位置信号指示的所述利萨茹位置从所述第一组补偿值中选择补偿值，并且将所述第一组补偿值中的所选择的补偿值应用于所述PLL信号，从而修改所述PLL信号以生成用于生成所述第一驱动信号的已补偿PLL信号。

3.根据权利要求2所述的振荡器控制系统，其中所选择的补偿值对应于发生在由所述利萨茹位置信号指示的所述利萨茹位置处的所述确定性交叉耦合误差的预定分量。

4.根据权利要求2所述的振荡器控制系统，其中所述补偿电路被配置为使用所选择的补偿值来对来自所述PLL信号的所述确定性交叉耦合误差进行滤波，以生成所述已补偿PLL信号。

5.根据权利要求1所述的振荡器控制系统，其中所述确定性交叉耦合误差是周期性交叉耦合误差，所述周期性交叉耦合误差根据所述利萨茹图案内的所述利萨茹位置以正弦方式改变。

6.根据权利要求1所述的振荡器控制系统，还包括：

利萨茹位置计数器，被配置为生成所述利萨茹位置信号作为以离散增量顺序输出的多个计数器值，其中每个计数器值对应于所述利萨茹图案内的不同利萨茹位置。

7.根据权利要求6所述的振荡器控制系统，其中所述补偿电路被配置为接收包括第一组补偿值的补偿信息，其中所述第一组补偿值中的每个补偿值被编码到所述利萨茹图案内的不同利萨茹位置，

其中所述补偿电路被配置为基于由所述利萨茹位置信号指示的所述利萨茹位置从所述第一组补偿值中选择补偿值，并且将所述第一组补偿值中的所选择的补偿值应用于所述PLL信号，从而修改所述PLL信号以生成用于生成所述第一驱动信号的已补偿PLL信号，以及

其中所述补偿电路包括查找表，所述查找表的每个计数器值被分配给所述第一组补偿值中的不同补偿值，其中所述查找表被配置为接收所述利萨茹位置信号并且根据在所述利萨茹位置信号中接收的计数器值从所述第一组补偿值中选择所述补偿值。

8.根据权利要求6所述的振荡器控制系统，其中所述多个计数器值是预定数目的计数器值，并且所述利萨茹位置计数器被配置为逐帧复位。

9.根据权利要求1所述的振荡器控制系统，其中所述PLL包括相位误差检测器，所述相位误差检测器被配置为基于围绕所述第一旋转轴线的所述振荡与预期振荡相位的相位偏差生成相位误差信号，并且输出所述相位误差信号作为所述PLL信号。