[发明专利]一种基于锂镍氧化物材料的选通管及其制作方法在审
| 申请号: | 202210965999.8 | 申请日: | 2022-08-12 |
| 公开(公告)号: | CN115411181A | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
| 发明(设计)人: | 董文静;袁幼红;余章宏;夏晨;胡高;王浚英;汪宝元 | 申请(专利权)人: | 湖北大学;湖北江城实验室 |
| 主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
| 代理公司: | 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙) 42212 | 代理人: | 丁齐旭 |
| 地址: | 430062 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 氧化物 材料 选通管 及其 制作方法 | ||
1.一种基于锂镍氧化物材料的选通管,包括依次紧密接触的底层电极(1),中间层材料(2),顶层电极(3),其特征在于:
所述的底层电极(1)的材料为泡沫镍、泡沫铜、金属镍片、金属铜片、金属镍薄膜和金属铜薄膜的一种;
所述的中间层材料(2)为锂镍氧化物LixNiO2-δ(0<x≤1);
所述的顶层电极(3)的材料为金属铂、金属金的一种;
所述选通管是具有双向阈值开关特性的选通管。
2.一种基于锂镍氧化物材料的新型选通管的制备方法,其特征在于具体制作步骤如下:
(a)将底层电极清洗干净并干燥;
(b)在上述获得的底层电极上用浆料涂覆法、或薄膜沉积法制备一层0.2μm~500μm厚的材质为LixNiO2-δ(0<x≤1)中间层;同时在底层电极上需预留出一部分底层电极;涂覆或沉积过程中根据需要控制好中间层材料的厚度;
(c)将步骤(b)得到的器件在100℃~120℃经20min-60min烘干后,使用压片机压制成陶瓷片,LixNiO2-δ(0<x≤1)中间层的压制厚度控制在0.1μm~200μm范围内;
(d)在上述器件上制备顶层电极,得到基于锂镍氧化物材料的选通管。
3.根据权利要求2所述的一种基于锂镍氧化物材料选通管的制备方法,其特征在于,步骤(b)所述的浆料配制步骤为:
Ⅰ):用电子天平按LixNiO2-δ(0<x≤1)称取一定比例的LiOH·H2O和NiO2H2粉末混合研磨均匀,放入马弗炉中以1-10℃/min的速率升温至500-850℃,烧结4-9h,得到LixNiO2-δ(0<x≤1),再研磨成均匀粉末;
Ⅱ):将粉末状的LixNiO2-δ(0<x≤1)和松油醇按2:1-4:1的质量比混合均匀而成,备用。
4.根据权利要求2所述的一种基于锂镍氧化物材料选通管的制备方法,其特征在于,步骤(d)所述的制备顶层电极的方法为溅射法、蒸发法、化学气相沉积法、等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法、金属化合物气相沉积法、分子束外延法或原子层沉积法中的任意一种。
5.根据权利要求2所述的一种基于锂镍氧化物材料选通管的制备方法,其特征在于,步骤(b)中LixNiO2-δ(0<x≤1)中间层的浆料涂覆法包括旋涂法、刷涂法、喷涂法、丝网印刷法等中的任意一种。
6.根据权利要求2所述的一种基于锂镍氧化物材料选通管的制备方法,其特征在于,步骤(b)中LixNiO2-δ(0<x≤1)中间层的薄膜沉积法包括电化学沉积、物理沉积和化学沉积等中的任意一种。
7.根据权利要求2所述的一种基于锂镍氧化物材料选通管的制备方法,其特征在于,当使用薄膜沉积法制备LixNiO2-δ(0<x≤1)中间层时,步骤(c)省去或者保留。
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