[发明专利]一种晶圆加工用清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆加工用清洗装置，其特征在于，所述晶圆加工用清洗装置包括：

底座(1)以及固定安装在所述底座(1)上的固定板(2)，所述固定板(2)上固定有横板(3)，所述横板(3)上固定有用于输送晶圆的导料管(8)，所述底座(1)上设置有用于引导所述导料管(8)内晶圆下料的下料机构；

所述下料机构上固定有转盘(20)，所述转盘(20)上开设有呈圆周等距设置的通槽，所述通槽内设置有用于承接晶圆的承接板(21)，所述底座(1)上设置有用于驱动所述承接板(21)摆动的限位机构，所述转盘(20)上还设置有与所述限位机构连接的承接机构，所述横板(3)上转动安装有用于清洁晶圆的两组刷头(18)，所述底座(1)上设置有用于驱动所述刷头(18)转动的驱动机构，所述驱动机构上固定有与所述下料机构连接的主动轮(13)，所述驱动机构通过所述主动轮(13)驱动所述下料机构间歇运动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用清洗装置，其特征在于，所述下料机构包括转动安装在所述导料管(8)上的限位板(9)、固定安装在所述限位板(9)上的限位块(4)、套设在所述限位板(9)转轴上且呈对称设置的一号扭簧(10)，所述底座(1)上设置有与所述限位块(4)间歇抵接的从动组件，所述从动组件与所述主动轮(13)连接且与所述转盘(20)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用清洗装置，其特征在于，所述从动组件包括转动安装在所述底座(1)上的一号转动杆(5)、固定安装在所述一号转动杆(5)上的转动板(6)、固定安装在所述转动板(6)上且呈圆周等距设置的滑轮(7)，所述一号转动杆(5)上固定有与所述主动轮(13)配合的从动轮(11)，所述滑轮(7)与所述限位块(4)间歇抵接，所述一号转动杆(5)与所述转盘(20)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用清洗装置，其特征在于，所述限位机构包括设置在所述转盘(20)上且与所述承接板(21)固定连接的往复组件、固定安装在所述承接板(21)上的一号限位杆(22)、固定安装在所述底座(1)上且与所述一号限位杆(22)间歇抵接的一号支撑杆(23)，所述横板(3)上固定有与所述往复组件间歇抵接的二号支撑杆(26)，所述往复组件与所述承接机构连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工用清洗装置，其特征在于，所述往复组件包括转动安装在所述通槽内且与所述承接板(21)固定连接的三号转动杆(24)、套设在所述三号转动杆(24)上的二号扭簧(27)、固定安装在所述三号转动杆(24)上且与所述二号支撑杆(26)间歇抵接的二号限位杆(25)，所述三号转动杆(24)与所述承接机构连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用清洗装置，其特征在于，所述承接机构包括固定安装在所述通槽内的支撑板(28)、固定安装在所述三号转动杆(24)上且呈对称设置的一号连杆(29)、铰接在所述一号连杆(29)上的二号连杆(30)，所述转盘(20)上设置有与所述支撑板(28)连接的滑动组件，所述滑动组件与所述二号连杆(30)铰接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆加工用清洗装置，其特征在于，所述滑动组件包括开设在所述支撑板(28)上且呈对称设置的滑槽(32)、滑动安装在所述滑槽(32)内的滑动块(31)、固定安装在所述滑动块(31)上的挡板(33)，所述滑动块(31)与所述二号连杆(30)铰接。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用清洗装置，其特征在于，所述驱动机构包括转动安装在所述底座(1)上的传动杆(15)、套设在所述传动杆(15)上且与其中一个所述刷头(18)转轴连接的一号皮带(17)、套设在两个所述刷头(18)上的二号皮带(19)，所述底座(1)上设置有与所述传动杆(15)连接的齿合组件，所述齿合组件与所述主动轮(13)固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆加工用清洗装置，其特征在于，所述齿合组件包括固定安装在所述传动杆(15)上的小齿轮(16)、转动安装在所述底座(1)上的二号转动杆(12)、固定安装在所述二号转动杆(12)上且与所述小齿轮(16)啮合的大齿轮(14)，所述二号转动杆(12)与所述主动轮(13)固定连接。