[发明专利]一种镍铝合金溅射靶材及其热等静压制备方法

权利要求书

1.一种镍铝合金溅射靶材的热等静压制备方法，其特征在于，所述热等静压制备方法包括如下步骤：

（1）将具有目标质量比例的镍铝合金粉末装入模具并封口；

其中，所述镍铝合金粉末由镍粉和铝粉按照目标质量比例混合得到，且所述目标质量比例中铝的质量比例为1.8-2.2%，其余为镍以及不可避免的杂质；所述混合包括：先将全部铝粉与一部分镍粉按照质量比1:(0.9-1.1)进行一次混合得到母粉，再将所述母粉与余量镍粉进行二次混合得到所述镍铝合金粉末；所述一次混合的时间为22-26h；所述二次混合的时间为24-36h；所述镍粉的纯度为99.95-99.99%；所述镍粉的D50粒径≤75μm；所述铝粉的纯度为99.95-99.99%；所述铝粉的D50粒径≤10μm；

（2）将步骤（1）封口后的模具放入加热炉中，加热至300-500℃，并控制真空度在5.0E-3Pa以下，进行4-8h的脱气处理；

（3）将步骤（2）脱气后的模具放入热等静压炉中，先升温至450-550℃，在90-170MPa压力下保温保压1-2h进行预热等静压处理，然后升温至750-850℃，在90-170MPa压力下保温保压3-6h进行热等静压处理，将所述模具去掉，得到镍铝合金溅射靶材粗品；

（4）将步骤（3）得到的镍铝合金溅射靶材粗品进行机加工，得到镍铝合金溅射靶材。

2.根据权利要求1所述的热等静压制备方法，其特征在于，所述混合在惰性气体保护下进行。

3.根据权利要求2所述的热等静压制备方法，其特征在于，所述惰性气体为氦气和/或氩气。

4.根据权利要求3所述的热等静压制备方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气。

5.根据权利要求2所述的热等静压制备方法，其特征在于，所述惰性气体的压力为0.02-0.06MPa。

6.根据权利要求1所述的热等静压制备方法，其特征在于，所述混合在V型混粉机中进行。

7.根据权利要求6所述的热等静压制备方法，其特征在于，在所述混合前将所述V型混粉机清洗干净，以保证V型混粉机内无污染。

8.根据权利要求1所述的热等静压制备方法，其特征在于，所述混合采用加入锆球或氧化锆球进行干混的方式；所述锆球或氧化锆球对应的球料质量比为(1-3):10。

9.根据权利要求1所述的热等静压制备方法，其特征在于，步骤（1）所述模具为不锈钢包套。

10.根据权利要求1所述的热等静压制备方法，其特征在于，在步骤（1）所述装入模具后，依次进行夯实和封口。

11.根据权利要求1所述的热等静压制备方法，其特征在于，在步骤（4）所述机加工后，依次进行检测、清洗、干燥、包装，得到镍铝合金溅射靶材。