[发明专利]SnO2

权利要求书

1.一种SnO₂-MoSe₂复合材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）MoSe₂的制备：以钼酸钠和硒粉为原料，先后加入硼氢化钠、无水乙醇，进行水热反应，经过后处理得到MoSe₂纳米材料；

（2）SnO₂-MoSe₂复合材料的制备：用乙醇溶解MoSe₂，然后加入SnCl₄•5H₂O，置于高压反应釜中反应；冷却至室温后，依次经过固液分离和干燥，最后将所得产物在氩气下退火处理，得到所述的SnO₂-MoSe₂复合材料。

2.根据权利要求1所述的SnO₂-MoSe₂复合材料的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，后处理包括：当烘箱温度降至室温以下时，倒出反应釜内液体，用水和乙醇交替离心洗涤，干燥；将所得固体置于氢氧化钠溶液中，水浴，待冷却到室温后，继续用水和乙醇离心洗涤，最后进行干燥。

3.根据权利要求1所述的SnO₂-MoSe₂复合材料的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，置于200-240℃高压反应釜中反应25-30小时。

4.根据权利要求1所述的SnO₂-MoSe₂复合材料的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，将所得产物在300-350℃的氩气下以1℃/min的升温速率退火2-3小时。

5.根据权利要求1所述的SnO₂-MoSe₂复合材料的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，MoSe₂与SnCl₄•5H₂O的质量比为1：2-4。

6.一种基于权利要求1所述SnO₂-MoSe₂复合材料制备的MEMS二氧化硫传感器，其特征在于：包括以下制备步骤：

（1）将微热板与管壳清理后，使用贴片机将微热板与管壳进行粘合，然后进行固化；

（2）使用金丝进行微热板引线键合；

（3）使用微电子打印机对键合完成后的微热板和管壳进行纳米材料喷涂，将纳米材料喷涂在微热板上，然后进行材料固化；

（4）将密封胶在管壳周围均匀点胶，进行管帽封盖，固化；

（5）使用表面贴装的陶瓷封装底座对微热板进行封装，得到MEMS二氧化硫传感器。

7.根据权利要求6所述的MEMS二氧化硫传感器，其特征在于：微热板的加热功耗在400-500℃需60mW，热响应时间为20-25ms。

8.根据权利要求6所述的MEMS二氧化硫传感器，其特征在于：步骤（2）中，使用25μm金丝。

9.根据权利要求6所述的MEMS二氧化硫传感器，其特征在于：制得的MEMS氨气传感器成品尺寸长*宽*高为5mm*5mm*1.05mm。

10.一种MEMS二氧化硫传感器的应用，其特征在于：将权利要求6-9任一所述的MEMS二氧化硫传感器贴装于印刷电路板，应用于检测二氧化硫浓度。