[发明专利]一种工作台和激光打标设备

说明书

本发明公开一种工作台和激光打标设备，涉及激光加工设备技术领域，以解决激光打标设备的台面上存在杂质时影响加工质量的问题。所述工作台包括支架、翻转机构和承载台，翻转机构设置于支架，承载台包括用于承载工件的承载面，承载台设置于翻转机构上，翻转机构用于可控的驱动承载台翻转，使得承载面在朝上姿态和朝下姿态之间翻转切换，所述激光打标设备包括上述方案所述的工作台。

技术领域

本发明涉及激光加工设备技术领域，尤其涉及一种工作台和激光打标设备。

背景技术

在晶体硅太阳能电池的制造工艺中，SE(选择性发射极)激光掺杂工艺是一种制备高质量太阳能电池的关键性工艺。通常利用激光打标设备实施SE激光掺杂工艺，掺杂时，先将带有PSG(磷硅玻璃层)的硅片放置于激光打标设备的工作台上，然后通过拍照设备获取硅片的表面图像，并根据表面图像确定掺杂区域，最后利用激光脉冲熔融掺杂区域的硅片表层，使PSG层中的磷原子推进至硅片中并快速取代原有的硅原子实现扩散掺杂。

采用上述激光打标设备实施SE激光掺杂工艺时，可以在硅片上形成高质量的掺杂层；但是，激光脉冲掺杂硅片表层的过程中，硅片表层会在激光脉冲的作用下产生碎片等杂质，杂质留在工作台上后，下一块硅片掺杂时会放置于工作台的杂质上，导致硅片部分位置抬升，在拍照获取硅片的表面图像时，硅片上抬升部分的图形会发生变形，导致掺杂区域的确定出现偏差，同时激光掺杂时，掺杂位置也会出现偏差，从而导致激光掺杂形成的掺杂层质量较差，进而导致形成的太阳能电池质量较差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种工作台和激光打标设备，以去除工作台上的杂质。

为了实现上述目的，第一方面，本发明提供一种工作台，包括：

支架；

翻转机构，翻转机构设置于支架；

承载台，包括用于承载工件的承载面，承载台设置于翻转机构上，翻转机构用于可控的驱动承载台翻转，使得承载面在朝上姿态和朝下姿态之间翻转切换。

采用上述技术方案的情况下，工作台包括支架、翻转机构和承载台，翻转机构设置于支架，承载台设置于翻转机构，翻转机构用于驱动承载台翻转，使得承载面在朝上姿态和朝下姿态之间翻转切换；采用这种结构，在硅片放置于承载台之前，可以先利用翻转机构控制承载台翻转，使承载面由朝上姿态转换为朝下姿态，此时，承载面上的杂质在惯性和重力的作用下会倾倒出去，使得杂质脱离承载台；在下一块硅片放置于承载台上之前，可以利用翻转机构控制承载台翻转，使承载下一块硅片的承载面由朝上姿态转换为朝下姿态，此时，下一块硅片可以平整地放置在承载面上，在拍照获取硅片的表面图像和激光掺杂时承载面形变较小，减小了偏差，提高激光掺杂的精度，使得激光掺杂形成的掺杂层质量较好，从而提高形成的太阳能电池的质量。另外，承载台上的杂质去除后，可以使下一块硅片能够更加稳定地放置于承载面上。

在一些可能的实现方式中，承载台为环形传送带，翻转机构包括与环形传送带传动连接的驱动组件，驱动组件驱动环形传送带做环绕运动。如此设置，优化承载台的结构，驱动组件可以驱动环形传送带运动实现翻转。

在一些可能的实现方式中，驱动组件包括至少两个转动轴，至少两个转动轴位于环形传送带内侧且将环形传送带张紧，至少两个转动轴转动时带动环形传送带做环绕运动。如此设置，通过两个转动轴带动环形传送带运动，简化驱动组件的结构，使得环形传送带安装更加方便。

在一些可能的实现方式中，承载台为板状结构，翻转机构包括驱动装置和转动杆，驱动装置安装在支架上，转动杆与驱动装置相连，承载台安装在转动杆上，驱动装置驱动转动杆转动，转动杆转动时带动承载台翻转。如此设置，优化承载台的结构，转动杆转动时可以带动承载台运动实现翻转。

在一些可能的实现方式中，还包括吸附装置，吸附装置安装在支架上且位于承载台下方，用于吸紧承载台上的工件。如此设置，能够使工件更加稳定地放置于承载台上。