[发明专利]一种紫外非线性晶体控温炉及其控温方法和装配方法

权利要求书

1.一种紫外非线性晶体控温炉，其特征在于，包括炉芯组件、控温组件以及导气组件，其中所述炉芯组件用于安装紫外非线性晶体，所述导气组件用于向所述炉芯组件通入气体，所述紫外非线性晶体控温炉还包括连接所述导气组件和所述炉芯组件的气体流路，所述控温组件设置于所述气体流路上，用于调节进入所述气体流路的气体温度，使得气体达到所述紫外非线性晶体的工作温度，其中气体进入所述气体流路后，经由所述控温组件加热至所述紫外非线性晶体的工作温度后进入所述炉芯组件内，对所述紫外非线性晶体的多个导气面进行包裹吹扫，从而使得所述紫外非线性晶体的温度达到工作温度。

2.根据权利要求1所述的紫外非线性晶体控温炉，其特征在于，所述炉芯组件包括用于安装紫外非线性晶体的炉芯座和炉芯盖，所述炉芯座和所述炉芯盖与所述紫外非线性晶体之间均设置有用于供气体通过的导气间隙；

所述导气组件包括导气环和连接于所述导气环的导气管，所述导气管具有供气体进入的注气管道；

控温单元，所述控温单元包括第一控温模块、设置于所述第一控温模块内的第二控温模块以及设置于所述第二控温模块与所述第一控温模块之间的控温炉中间结构件，其中所述炉芯组件安装于所述第二控温模块内；

其中所述导气环和所述第一控温模块之间形成有第一环形腔室，所述第一环形腔室用于对经由所述导气管的所述注气管道输入的气体进行匀化；所述控温炉中间结构件与所述第一控温模块之间设置有贯通于所述第一环形腔室的第一环形导气口和贯通于所述第一环形导气口的第二环形腔室；所述控温炉中间结构件于对应于所述第二环形腔室的尾端位置设置有多个导气小孔；所述控温炉中间结构件与所述第二控温模块之间设置有与所述导气小孔贯通的第三环形腔室和与所述第三环形腔室贯通的第二环形导气口；所述第二控温模块和所述导气环之间形成有连通所述第二环形导气口的导气通道；所述炉芯组件内形成有连通所述导气通道的第一空腔和经由多个所述导气间隙连通所述第一空腔的第二空腔；

其中所述第一环形腔室、所述第一环形导气口、所述第二环形腔室、所述导气小孔、所述第三环形腔室、所述第二环形导气口、所述导气通道、所述第一空腔、所述导气间隙以及所述第二空腔形成所述气体流路，所述紫外非线性晶体控温炉通过控制所述第一控温模块和所述第二控温模块的工作，来实现对进入所述气体流路的气体温度的调节，确保进入所述炉芯组件的气体温度能够达到所述紫外非线性晶体的工作温度。

3.根据权利要求2所述的紫外非线性晶体控温炉，其特征在于，所述第一环形导气口的截面积小于所述第二环形腔室的截面积，所述第二环形导气口的截面积小于所述第三环形腔室的截面积。

4.根据权利要求3所述的紫外非线性晶体控温炉，其特征在于，所述第一控温模块包括由内至外依次设置的第一控温炉结构件、第一绝缘层以及第一加热件；

所述第二控温模块包括由内至外依次设置的第二控温炉结构件、第二绝缘层、第二加热件、第三绝缘层以及密封件；

其中所述第一环形腔室形成于所述第一控温炉结构件和所述导气环之间，所述第一环形导气口和所述第二环形腔室形成于所述第一控温炉结构件和所述控温炉中间结构件之间，所述第三环形腔室形成于所述控温炉中间结构件和所述密封件之间。

5.根据权利要求4所述的紫外非线性晶体控温炉，其特征在于，所述第一控温炉结构件于对应于所述第二环形腔室的尾端位置设置有第一凹槽，所述导气环于对应于所述第二环形导气口的位置设置有第二凹槽，所述紫外非线性晶体控温炉还包括分别设置于所述第一凹槽和所述第二凹槽的第一温度传感器和第二温度传感器，其中，

所述第一温度传感器用于监测所述第二环形腔室内的气体温度，所述紫外非线性晶体控温炉基于所述第一温度传感器的监测结果控制所述第一加热件的加热功率；

所述第二温度传感器用于监测所述第三环形腔室内的气体温度，所述紫外非线性晶体控温炉基于所述第二温度传感器的监测结果控制所述第二加热件的工作状态，从而确保进入所述炉芯组件的气体温度能够达到所述紫外非线性晶体的工作温度。