[发明专利]一种差动式的自动对焦的测量方法在审
| 申请号: | 202210821339.2 | 申请日: | 2022-07-13 |
| 公开(公告)号: | CN115128763A | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
| 发明(设计)人: | 袁涛;易定容;吴栋梁;叶一青;蒋威 | 申请(专利权)人: | 华侨大学 |
| 主分类号: | G02B7/28 | 分类号: | G02B7/28;G03B13/36 |
| 代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 连耀忠 |
| 地址: | 362000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 差动 自动 对焦 测量方法 | ||
1.一种差动式的自动对焦的测量方法,其特征在于,包括:一种差动式的自动对焦的测量系统,具体为:包括:光源、准直透镜组、第一分光镜、物镜、管镜、第二分光镜、第一光学传感器和第二光学传感器;
光源用于发出照明光,准直透镜组用于将发出事务照明光呈现水平平行光射出;第一分光镜用于将水平平行光中的入射光反射,测量光透射;物镜用于测量物体;管镜用于汇聚光线;第二分光镜用于将光线分成两条光路入射第一光学传感器和第二光学传感器;第一光学传感器位置放置在光线汇聚点前d1处,第二光学传感器位置放置在光线汇聚点后d2处;
光源发射对焦光线,穿过矫直透镜组将光源所产生的光线进行矫直产生平行光线,再经过第一分光镜将平行光线进行反射,通过物镜汇聚在样品的表面,样品表面将对焦光线进行反射,通过物镜将对焦光线转为平行光,穿过分光镜,经过物镜对焦光线开始汇聚,利用第二分光镜将管镜产生的汇聚光线分向第一感光器件和第二感光器件,通过第一感光器件与第二感光器件的光强差判断样品的离焦量,若光强差为0,则实现对焦。
2.根据权利要求1所述的一种差动式的自动对焦的测量方法,其特征在于,光源为平行光源或点光源。
3.根据权利要求1所述的一种差动式的自动对焦的测量方法,其特征在于,所述物镜和第二分光镜位置互换,且位置互换后,在物镜和第二分光镜前均需放置目镜。
4.根据权利要求1所述的一种差动式的自动对焦的测量方法,其特征在于,所述第一感光器件为焦前相机,第二感光器件为焦后相机。
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