[发明专利]一种硅基材料中硅含量和氧含量的测试方法及测试装置

权利要求书

1.一种硅基材料中硅含量和氧含量的测试方法，其特征在于，具体如下：

将硅基材料和反应溶液先后放入密闭反应器(1)中，通过压力传感器(2)监测密闭反应器(1)中气体的压力变化，根据密闭反应器(1)内腔的容积、温度和气体压力变化，利用气态方程得到气体摩尔数，进而根据硅基材料和反应溶液的化学反应方程式得到反应消耗的未氧化的硅含量，随后根据硅基材料初始质量得到完全氧化的硅含量，根据硅基材料的化学式得到其氧含量，进而得到硅基材料的硅氧比例。

2.根据权利要求1所述的硅基材料中硅含量和氧含量的测试方法，其特征在于，所述硅基材料为SiO_x(0≤x≤2)或其复合材料。

3.根据权利要求1所述的硅基材料中硅含量和氧含量的测试方法，其特征在于，所述反应溶液为氢氧化钠、氢氧化钾、硝酸、氢氟酸、硫酸、盐酸和四甲基氢氧化铵的水溶液中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的硅基材料中硅含量和氧含量的测试方法，其特征在于，所述硅基材料和反应溶液的添加质量比为1:(2～100)。

5.根据权利要求1所述的硅基材料中硅含量和氧含量的测试方法，其特征在于，所述硅基材料和反应溶液的反应温度为30～120℃。

6.一种用于实现权利要求1～5任一所述测试方法的测试装置，其特征在于，包括密封反应器(1)；所述密封反应器(1)为具有封闭反应内腔的结构，其上设有加热装置(3)和与反应内腔相连的压力传感器(2)和溶液室(4)，溶液室(4)用于向反应内腔中加入反应溶液。

7.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述溶液室(4)通过设有阀门(5)的管路与反应内腔连通。

8.根据权利要求7所述的测试装置，其特征在于，所述阀门(5)为球阀、截止阀、闸阀、隔膜阀、旋塞阀、针阀和蝶阀中的一种。

9.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述压力传感器(2)外接控制箱(6)，控制箱(6)上设有开关按钮(8)和用于人机交互的PLC触摸屏(7)，PLC触摸屏(7)能实时显示反应内腔中的气体压力和温度。

10.根据权利要求9所述的测试装置，其特征在于，所述控制箱(6)与上位机(9)相连，上位机(9)中装有用于计算硅基材料中硅含量和氧含量的测试模块。