[发明专利]一种高灵敏风速传感器及试验设备

权利要求书

1.一种高灵敏风速传感器，其特征在于，包括风道(1)、薄膜热电器件(4)、控温热板(6)、升压降噪模块(7)和数据采集模块(8)，所述风道(1)上开设有用于安装所述薄膜热电器件(4)的安装孔，所述薄膜热电器件(4)与控温热板(6)面接触连接，所述薄膜热电器件(4)、升压降噪模块(7)和数据采集模块(8)依次连接，所述薄膜热电器件(4)与风道(1)内待测气流接触的一侧为冷端，与控温热板(6)接触的一侧为热端，所述薄膜热电器件(4)所在平面与风道(1)内的待测气流(3)之间的夹角为0-90度。

2.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述控温热板(6)的工作温度等于或高于环境温度。

3.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件(4)采用热流垂直于界面的π型结构。

4.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件(4)通过导热界面材料(5)与控温热板(6)接触。

5.根据权利要求4所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述导热界面材料(5)为导热硅脂、导热硅胶片、导热相变材料或导热胶带。

6.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件(4)、控温热板(6)、升压降噪模块(7)和数据采集模块(8)通过一封装层集成封装。

7.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件(4)包括基座(404)以及设置于基座(404)上的P-N热电对阵列，所述P-N热电对包括N型热电柱(402)和P型热电柱(403)，相邻所述N型热电柱(402)和P型热电柱(403)共同连接一个电极(401)。

8.根据权利要求8所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述P-N热电对至少设有3对。

9.根据权利要求8所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件使用的热电材料为Bi₂Te₃、Sb₂Te₃、MgAgSb、PbTe、PbSe、SnTe、SnSe、Cu₂Se、Si-Ge合金中的一种或多种。

10.一种风速试验设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一所述的高灵敏风速传感器。