[发明专利]一种钽溅射靶材端面密封槽的加工方法有效
| 申请号： | 202210798328.7 | 申请日： | 2022-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN114986106B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;徐礼升;王学泽;陈玉蓉 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 徐浩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 端面 密封 加工 方法 | ||
1.一种钽溅射靶材端面密封槽的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括如下步骤：
(1)采用切槽刀进行第一切削后退刀，所述第一切削的深度为密封槽要求深度的1/3～1/2；
(2)所述切槽刀移动至密封槽要求宽度处进行第二切削后退刀，所述第二切削的深度为密封槽要求深度；
(3)所述切槽刀移动至第一切削的位置后进行第三切削，所述第三切削与第一切削的总深度为密封槽要求深度。
2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述切槽刀包括可拆卸式硬质合金切槽刀。
3.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述切槽刀的刀片长度小于密封槽要求宽度1.5～2mm。
4.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述第一切削的进给量为0.005～0.01mm/r。
5.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述第二切削的进给量为0.005～0.01mm/r。
6.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述第三切削的进给量为0.005～0.01mm/r。
7.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述第一切削的吃刀量为0.1～0.2mm。
8.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述第二切削的吃刀量为0.1～0.2mm。
9.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述第三切削的吃刀量为0.1～0.2mm。
10.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述第一切削的转速为40～60r/min。
11.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述第二切削的转速为40～60r/min。
12.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述第三切削的转速为40～60r/min。
13.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述第一切削的过程中使用冷却液对切槽刀进行冷却。
14.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述第二切削的过程中使用冷却液对切槽刀进行冷却。
15.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述第三切削的过程中使用冷却液对切槽刀进行冷却。
16.根据权利要求13～15任一项所述的加工方法，其特征在于，所述冷却液包括水溶性切削液。
17.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述第三切削完成后，采用粒度为180～320的背绒砂纸对密封槽进行抛光打磨。
18.根据权利要求17所述的加工方法，其特征在于，所述抛光打磨的转速为150～300r/min。
19.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括如下步骤：
(1)采用切槽刀进行第一切削后退刀，所述第一切削的深度为密封槽要求深度的1/3～1/2；所述切槽刀包括可拆卸式硬质合金切槽刀；所述切槽刀的刀片长度小于密封槽要求宽度1.5～2mm；
(2)所述切槽刀移动至密封槽要求宽度处进行第二切削后退刀，所述第二切削的深度为密槽深度；
(3)所述切槽刀移动至第一切削的位置后进行第三切削，所述第三切削的深度为密封槽要求深度；
步骤(1)所述第一切削、步骤(2)所述第二切削和步骤(3)所述第三切削的进给量为0.005～0.01mm/r，吃刀量为0.1～0.2mm，转速为40～60r/min；使用水溶性切削液对切槽刀进行冷却；
所述第三切削完成后，采用粒度为180～320的背绒砂纸对密封槽进行转速为150～300r/min的抛光打磨。
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