[发明专利]一种检测装置

说明书

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种检测装置。其包括探针检测台和镜头更换结构，探针检测台包括承载台、安装台和探针座，探针座和安装台均设置于承载台上，探针座滑动的设置于承载台上并能够靠近或远离安装台；镜头更换结构能够根据被检测件不同位置需要更换光学镜头。探针座能够相对于承载台滑动，这样在承载台上放置好被检测件后，探针座可根据实际需要移动，以使探针检测被检测件的不同位置，避免了现有技术中根据被检测件检测位置不同而频繁更换探针或者承载台，另外，镜头更换装置能够更换光学镜头，也能够满足被检测件的不同位置的检测需要，相比于现有技术而言，本发明中的检测装置能够减少检测时间，提高工作效率。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种检测装置。

背景技术

在电子装置(诸如半导体衬底)的制造过程中以及制造过程完成以后，需要对其进行相关检测以确定其性能。例如热扩散的测量、热应力分布、无损检测等，还可为芯片提供热分布测试和失效定位。但是上述两个及以上测量实现检测的手段多是通过探针与测量相机结合，这样可以通过一次检测获得多个方面的测量结果。而现有技术中检测装置的通用性差，不能实现一个探针对同一检测件不同位置进行检测，造成检测效率低。

因此，亟需一种检测装置，以解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提出一种检测装置，能够提高检测装置的通用性，实现一个探针能够检测同一检测件的不同位置。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种检测装置，包括：

探针检测台，包括承载台、安装被检测件的安装台和设置于安装台侧边的探针座，所述探针座和所述安装台均设置于所述承载台上，所述探针座滑动的设置于所述承载台上并能够靠近或远离所述安装台；

镜头更换结构，设置于探针检测台的上方，所述镜头更换结构能够根据被检测件不同位置需要更换光学镜头。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述承载台上设置有能够沿所述承载台长度方向滑动的调节板，所述探针座设置于所述调节板上，且所述探针座能够沿所述调节板的长度方向移动。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述调节板沿长度方向设置有呈长条形的第一调节孔，所述探针座上设置有与所述第一调节孔相配合的第一调节螺栓，所述第一调节螺栓用于将所述探针座位置固定。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述探针座上设置有呈长条形的第二调节孔，所述第一调节孔的长度方向与所述第二调节孔的长度方向呈夹角设置，所述第一调节螺栓依次穿过所述第二调节孔和所述第一调节孔。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述探针座包括：

探针安装座，用于安装探针；

移动座，与所述探针安装座连接，所述移动座上设置有所述第二调节孔，所述移动座能够滑动的设置于所述调节板上。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述移动座包括：

X轴调节部，设置于所述承载台的顶部；

Y轴调节部，设置于所述X轴调节部的顶部并与所述X轴调节部连接；

Z轴调节部，设置于所述Y轴调节部的一侧，所述Z轴调节部分别与所述探针安装座以及所述Y轴调节部连接。

作为上述检测装置的一种优选技术方案，所述X轴调节部包括：

连接座，设置于所述承载台的顶部；

X轴微调丝杠，能够转动的设置于所述连接座上；

X轴微调螺母，与所述X轴微调丝杠螺纹配合；