[发明专利]一种测量材料导电性的可调控同轴谐振探头

权利要求书

1.一种测量材料导电性的可调控同轴谐振探头，其特征在于，包括SMA同轴连接器(1)、基座(2)、螺丝(3)、待测样品(4)、探针(6)、半波长谐振器(7)、承片台(8)及射频反射计(9)；

待测样品(4)位于承片台(8)上，基座(2)位于待测样品(4)的上方，基座(2)的底部连接有同轴外导体法兰(5)，SMA同轴连接器(1)固定于基座(2)的顶部，基座(2)沿轴向设置有中心通孔，半波长谐振器(7)的上端穿过同轴外导体法兰(5)插入于中心通孔内，半波长谐振器(7)的下端设置有探针(6)，射频反射计(9)通过SMA同轴连接器(1)与半波长谐振器(7)的上端相连接。

2.根据权利要求1所述的测量材料导电性的可调控同轴谐振探头，其特征在于，还包括支架，其中，基座(2)的上部固定于支架上。

3.根据权利要求1所述的测量材料导电性的可调控同轴谐振探头，其特征在于，同轴外导体法兰(5)与基座(2)之间通过若干螺丝(3)相连接。

4.根据权利要求1所述的测量材料导电性的可调控同轴谐振探头，其特征在于，所述基座(2)的横截面为工字型结构。

5.根据权利要求1所述的测量材料导电性的可调控同轴谐振探头，其特征在于，半波长谐振器(7)采用标准同轴线制成。

6.根据权利要求1所述的测量材料导电性的可调控同轴谐振探头，其特征在于，所述SMA同轴连接器(1)的类型为L29型、N型、SMA型、3.5mm型或2.92mm型。

7.根据权利要求3所述的测量材料导电性的可调控同轴谐振探头，其特征在于，各螺丝(3)沿周向均匀分布。