[发明专利]一种用于光谱仪器的真空动密封狭缝机构

说明书

本发明公开一种用于光谱仪器的真空动密封狭缝机构，包括：狭缝基座，狭缝基座为一密封壳体，狭缝基座内并排设有若干滑轨；两安装板组件，任一安装板组件均与若干滑轨滑动连接；安装板组件上安装有狭缝片；测微装置，其安装在狭缝基座上；测微装置的测量端伸入至狭缝基座内腔中；间隙锥，其安装在测微装置的测量端，间隙锥伸入至两安装板组件之间，并且与两安装板组件滑动接触；密封组件，其设于狭缝基座与测微装置的连接处，密封组件内设有若干过渡区；其中，两安装板组件与狭缝基座的内壁之间固接有弹簧。本发明可实现地面真空环境下狭缝宽度的连续调节，狭缝精度高、狭缝宽度调节范围大、密封性好。

技术领域

本发明涉及光谱仪器领域，特别是涉及一种用于光谱仪器的真空动密封狭缝机构。

背景技术

狭缝是光谱仪器中决定光谱分辨率和能量的重要单元。根据应用范围可分为固定宽度狭缝和可变宽度狭缝，固定宽度狭缝一般用于光谱分辨率或能量传输效率恒定的仪器中，当需要仪器光谱分辨率或能量传输效率变化时，可变宽度狭缝将是最佳选择。

大气环境下可变宽度狭缝的调节方式较成熟，传动形式有螺旋、杠杆、楔形框、斜块导轨和柔性铰链式等，现有的光学仪器主要采用斜楔式狭缝机构；而对于部分受大气选择性吸收影响的光学仪器，光学系统包括可变宽度狭缝的刀口部位均需工作在真空环境下，其调节机构一般仍需处于大气环境，这就涉及到真空/大气两种环境下的动密封技术。

目前已知的真空动密封狭缝机构往往采用缝片独立控制的多驱动机构，为了保证狭缝开口精度及平行度，前期的狭缝调试及控制均有严格的要求，且高精度仅能确保狭缝宽度小范围(亚毫米量级)满足，对于狭缝宽度大范围(毫米量级)调节需求，一般很难实现高精度与真空动密封同时满足。为此，提出一种用于光谱仪器的真空动密封狭缝机构。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于光谱仪器的真空动密封狭缝机构，旨在解决或改善上述技术问题中的至少之一。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：本发明提供一种用于光谱仪器的真空动密封狭缝机构，包括：

狭缝基座，所述狭缝基座为一密封壳体，所述狭缝基座内并排设有若干滑轨；

并排设置的两安装板组件，任一所述安装板组件均与若干所述滑轨滑动连接；所述安装板组件上安装有狭缝片，两所述狭缝片相对设置；

测微装置，安装在所述狭缝基座上；所述测微装置的测量端伸入至所述狭缝基座内腔中；

间隙锥，安装在所述测微装置的测量端，所述间隙锥伸入至两所述安装板组件之间，并且与两所述安装板组件滑动接触；

密封组件，设于所述狭缝基座与所述测微装置的连接处，所述密封组件内设有若干过渡区；

其中，两所述安装板组件与所述狭缝基座的内壁之间固接有弹簧。

优选的，所述安装板组件包括：

狭缝安装板，所述狭缝安装板与若干所述滑轨滑动连接，所述狭缝安装板与所述狭缝基座的内壁之间固接有所述弹簧；

距离限位件，固接在所述狭缝安装板上，并且与所述间隙锥滑动接触；

正交限位件，固接在所述狭缝安装板上；所述正交限位件与若干所述滑轨滑动连接，并且所述正交限位件与若干所述滑轨垂直设置；

其中，两所述距离限位件相对设置，狭缝片安装在所述狭缝安装板上。

优选的，所述狭缝基座上开设有安装孔，所述测微装置的测量端通过所述安装孔伸入至所述狭缝基座内；所述密封组件设于所述安装孔的孔壁与所述测微装置之间。