[发明专利]玻璃盖板的加工方法在审
申请号: | 202210730343.8 | 申请日: | 2022-06-24 |
公开(公告)号: | CN115073015A | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 李青;李赫然;陈兵哲;胡恒广;闫冬成;张占永 | 申请(专利权)人: | 河北光兴半导体技术有限公司;北京远大信达科技有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00;B23K26/382 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 邱成杰 |
地址: | 050035 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 盖板 加工 方法 | ||
1.一种玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述加工方法包括:
激光处理:使用激光器(4)在玻璃盖板(1)的待切割线上打孔;
酸刻蚀:使用腐蚀酸液在所述待切割线上刻蚀,以沿所述待切割线切断所述玻璃盖板(1)。
2.根据权利要求1所述的玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述激光器(4)为飞秒激光器或皮秒激光器。
3.根据权利要求1所述的玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述加工方法包括在所述激光处理之前进行涂覆涂层,所述涂覆涂层包括:在所述玻璃盖板(1)的表面上涂覆防酸涂层(2),所述防酸涂层(2)位于所述待切割线之外的区域,以在所述待切割线处形成间隙(3)。
4.根据权利要求3所述的玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述防酸涂层(2)的厚度为10μm—100μm。
5.根据权利要求3所述的玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述间隙(3)的宽度为0.01mm—2mm。
6.根据权利要求3所述的玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述加工方法包括在所述涂覆涂层之前进行第一次清洗检测。
7.根据权利要求1所述的玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述激光处理包括将所述玻璃盖板(1)设置在玻璃载台(5)上,所述玻璃载台(5)吸附所述玻璃盖板(1),并且所述玻璃载台(5)上设置有与所述待切割线对齐的凹槽。
8.根据权利要求1所述的玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述酸刻蚀包括使用流动的腐蚀酸液刻蚀所述玻璃盖板(1)。
9.根据权利要求1所述的玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述加工方法包括在所述酸刻蚀之后进行第二次清洗,所述第二次清洗包括:将玻璃盖板(1)层叠间隔地设置在清洗架(6)上,将所述清洗架(6)放入清洗机中进行清洗,以去除腐蚀酸液和防酸涂层(2)。
10.根据权利要求9所述的玻璃盖板的加工方法,其特征在于,所述加工方法包括在所述第二次清洗之后进行化学强化,所述化学强化包括:将所述玻璃盖板(1)放置在强化溶液中进行强化。
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