[发明专利]一种碳纳米管手性关联电学、热学本征性质的微型测量装置

权利要求书

1.一种碳纳米管手性关联电学、热学本征性质的微型测量装置，其特征在于，该装置包括：硅基片、介电层和金属电极，介电层为氮化硅层，覆盖在硅基片表面；硅基片的中心区域设有两个以上狭缝和通孔标记，金属电极位于硅基片上表面的介电层上，且设有两个以上金属电极。

2.按照权利要求1所述的碳纳米管手性关联电学、热学本征性质的微型测量装置，其特征在于，硅基片厚度为100～200μm，硅基片的形状为正方形、多边形或者圆形，硅基片的对角线最大长度不超过3mm，使其可放入透射电镜样品杆中以表征碳纳米管的手性。

3.按照权利要求1所述的碳纳米管手性关联电学、热学本征性质的微型测量装置，其特征在于，狭缝包括一个宽狭缝和两个以上窄狭缝，宽狭缝与窄狭缝平行。

4.按照权利要求3所述的碳纳米管手性关联电学、热学本征性质的微型测量装置，其特征在于，宽狭缝宽度为10～100μm，窄缝宽度为2～5μm，窄狭缝中间均匀排列两个以上凸起；宽狭缝与窄狭缝长度相同，为100～500μm。

5.按照权利要求3所述的碳纳米管手性关联电学、热学本征性质的微型测量装置，其特征在于，金属电极分布于宽狭缝的两侧，且金属电极的数量至少为四个。

6.按照权利要求1所述的碳纳米管手性关联电学、热学本征性质的微型测量装置，其特征在于，通孔标记为一系列等间隔排列的数字或者字母通孔，通孔标记设在窄狭缝附近。