[发明专利]喷墨头、喷墨头的制造方法及印刷装置

权利要求书

1.一种喷墨头，具备：

喷嘴板，其形成有喷嘴；

压力室，其与所述喷嘴连通；

加压部，其对所述压力室进行加压；以及

振动板，其将由所述加压部产生的能量向所述压力室传递，

在所述喷嘴板的外表面形成有疏液膜，该疏液膜由添加了氟的类金刚石碳膜构成。

2.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

所述疏液膜随着距表面的深度变深，氟浓度变小。

3.根据权利要求1或2所述的喷墨头，其中，

在所述喷嘴的喷出口周围的一定距离内未形成所述疏液膜。

4.根据权利要求3所述的喷墨头，其中，

所述一定距离为10nm至500nm。

5.根据权利要求1或2所述的喷墨头，其中，

在所述喷嘴的喷出口处，在所述喷嘴板的外表面与所述疏液膜的表面之间设置有台阶部。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的喷墨头，其中，

所述疏液膜的表面相对于从所述喷嘴喷出的液滴的接触角α、所述疏液膜的侧面相对于从所述喷嘴喷出的液滴的接触角β、和所述喷嘴板的外表面相对于从所述喷嘴喷出的液滴的接触角γ的关系满足式1的条件，

式1：接触角α＞接触角β＞接触角γ。

7.一种喷墨头的制造方法，该喷墨头从形成于喷嘴板的喷嘴喷出液滴并使液滴着落于被印刷介质，其中，

所述喷墨头的制造方法包括：

疏液膜工序，在该疏液膜工序中，在所述喷嘴板的外表面形成由添加了氟的类金刚石碳膜构成的疏液膜；以及

喷嘴工序，在该喷嘴工序中，在形成有所述疏液膜的所述喷嘴板形成所述喷嘴。

8.根据权利要求7所述的喷墨头的制造方法，其中，

在所述喷嘴工序中，对所述喷嘴板照射激光而形成所述喷嘴。

9.一种印刷装置，具备：

权利要求1至6中任一项所述的喷墨头；

控制部，其对使液滴从所述喷墨头喷出的动作进行控制；以及

搬运部，其使所述喷墨头与被印刷介质相对移动。