[发明专利]晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种晶圆盒内晶圆分布状态检测装置，其特征在于，所述装置包括：

光源发生检测机构，包括相对地设置于晶圆盒两侧的反射式光电传感组件及反光组件，其中，所述反射式光电传感组件用于发射光源并接收穿过所述晶圆盒从所述反光组件上反射的反射光线；

升降机构，承载所述光源发生检测机构和/或所述晶圆盒，以带动所述光源发生检测机构与所述晶圆盒进行沿垂直方向的相对运动；

主控模块，分别与所述反射式光电传感组件及升降机构相连接，所述主控模块以所述反射式光电传感组件接收到的所述反射光线的状态为依据判断所述晶圆盒内各层晶圆的放置状态。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒内晶圆分布状态检测装置，其特征在于，所述反射式光电传感组件与所述主控模块之间还设有放大器。

3.根据权利要求3所述的晶圆盒内晶圆分布状态检测装置，其特征在于，所述放大器的阈值范围在60～80％之间。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒内晶圆分布状态检测装置，其特征在于，所述反光组件由回光板构成，所述回光板与所述反射式光电传感组件发射的光源的光轴形成的夹角在45°至90°之间。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒内晶圆分布状态检测装置，其特征在于，所述升降机构包括升降平台，所述晶圆盒设置于所述升降平台上。

6.一种基于权利要求1至5中任一项所述的晶圆盒内晶圆分布状态检测装置的晶圆盒内晶圆分布状态检测方法，其特征在于，所述方法为：

步骤1：控制所述光源发生检测机构与待测晶圆盒沿垂直方向匀速地进行相对运动，获取所述反光组件上反射的实时反射光线；

步骤2：将由检测到的所述实时反射光线构成的实时反射光线模拟信号波形转换为实时反射光线数字信号波形；

步骤3：将所述实时反射光线数字信号波形与基准反射光线数字信号波形进行比较，以确认所述待测晶圆盒中各层晶圆的放置状态。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒内晶圆分布状态检测方法，其特征在于，所述步骤2具体为：

将所述实时反射光线模拟信号波形中小于系统预设光强阈值的波形段转换为高电平并取反得到低电平的实时脉冲，并所述实时反射光线模拟信号波形中不小于系统预设光强阈值的波形段转换为低电平并取反得到高电平的实时脉冲，以得到实时反射光线数字信号波形，其中，由所述高电平的实时脉冲构成检测到晶圆的电平信号。

8.根据权利要求7所述的晶圆盒内晶圆分布状态检测方法，其特征在于，所述系统预设光强阈值的范围为60％～80％的满光强。