[发明专利]一种声能激发SAW谐振器及高阶对称梯形SAW滤波器在审
| 申请号： | 202210714602.8 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN114938214A | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 王红亮;张鹏;张峰;任瑞;丁琦;张胜阔;曹刚 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 曹一杰 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激发 saw 谐振器 对称 梯形 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种声能激发SAW谐振器，其特征在于，所述SAW谐振器由下至上依次为SiC高速衬底、64°Y-X LiNbO3压电薄膜、换能器叉指电极；压电薄膜层的厚度为0.15-0.4λ，换能器叉指电极厚度为0.01-0.4 λ，λ表示叉指周期。
2.如权利要求1所述的一种声能激发SAW谐振器，其特征在于，64°Y-X LiNbO3压电薄膜的上表面还设有位于换能器叉指电极两侧的反射栅。
3.如权利要求1所述的一种声能激发SAW谐振器，其特征在于，通过如下方法制备获得：S1)使用SiC材质的衬底进行抛光后清洗；
S2)在所述SiC衬底上使用化学气相沉积法或脉冲激光沉积法生长64°Y-X LiNbO3材质的压电薄膜层；
S3)在所述压电薄膜层上生长电极层，并根据换能器叉指电极的间隙位置在电极层表面布置光刻胶掩膜后，通过对电极层进行刻蚀加工形成换能器叉指电极，得到所述SAW谐振器结构。
4.一种高阶对称梯形SAW滤波器，采用多级级联的梯型电路，其特征在于，每级梯型电路均包括一个用于串联的SAW谐振器以及两个用于并联的SAW谐振器，两个用于并联的SAW谐振器对称分布在串联SAW谐振器两侧，构成该级梯形电路的分路支路，在每个用于并联的SAW谐振器两端均并联有一个电感；所述SAW谐振器采用权利要求1-3任一项所述的一种声能激发SAW谐振器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210714602.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
