[发明专利]摩擦非对称与惯性质量耦合的冲击驱动器及耦合驱动方法

说明书

本发明涉及一种摩擦非对称与惯性质量耦合的冲击驱动器及耦合驱动方法，属于精密驱动技术领域。该驱动器包括基座、导向单元、柔性驱动单元、惯性质量块和滑轨组五部分，柔性驱动单元以过盈配合的形式内嵌于滑轨组间，通过施加相同的预紧变形量，使刚度不同的薄壁柔性足、厚壁柔性足与滑轨组间产生不同的摩擦力，配合锯齿波激励信号实现摩擦非对称冲击。进一步，在非对称柔性铰链的薄壁一侧设置惯性质量块，实现摩擦非对称冲击与惯性质量冲击的耦合作用。本发明的优点在于：通过一个压电叠堆和一路信号输入，实现了两种冲击原理的耦合，进一步拓展了驱动力，解决了现有惯性冲击式压电驱动器综合输出性能较差的实际问题。

技术领域

本发明涉及一种摩擦非对称与惯性质量耦合的冲击驱动器及耦合驱动方法，属于精密驱动技术领域，可用于微/纳米定位、原位测试技术、光学聚焦和航空航天技术等领域。

背景技术

惯性冲击式压电驱动器是一种依据动量守恒定律实现运动的非共振型电机，依靠压电元件振动时产生的惯性冲击力，带动驱动器主体产生阶梯式步进位移，具有控制容易、结构简单的特点。介于以上优点，惯性冲击式压电驱动器近年来被广泛应用于原位测试技术、星载指向机构、及半导体制造等领域。

虽然学者们针对惯性冲击式压电驱动器开展了丰富的研究工作，但受限于驱动原理，其输出性能普遍偏低。且现有研究多数依靠单一原理实现惯性冲击效果，无法全面提升其输出性能。

为解决冲击式压电驱动器综合输出性能较差这一实际问题，从优化工作原理的角度出发，设计了摩擦非对称与惯性质量耦合的冲击式压电驱动器，并基于上述驱动器提出了耦合驱动方法，有望在满足小型化的基础上，实现综合输出性能的全面提升，这将进一步促进惯性冲击式压电驱动器的发展与应用。

发明内容

为了解决上述实际问题，本发明公开了一种摩擦非对称与惯性质量耦合的冲击驱动器及耦合驱动方法，实现了驱动器输出速度的提升和稳定工作带宽的扩大。

本发明为实现上述目的采用的技术方案如下：

一种摩擦非对称与惯性质量耦合的冲击驱动器由滑轨组、柔性驱动单元、惯性质量块、导向单元及基座组成；所述的柔性驱动单元由非对称柔性铰链、压电叠堆和预紧楔块组成；所述的非对称柔性铰链包括菱形柔性机构、厚端沉头孔、厚壁柔性足、薄壁柔性足、薄端沉头孔和螺纹孔，所述的压电叠堆和预紧楔块以过盈配合的方式内嵌于菱形柔性机构中；所述的厚壁柔性足和薄壁柔性足分别由摩擦足置于宽度不同的两端固定梁中点形成，并按照厚壁柔性足、菱形柔性机构、薄壁柔性足的顺序沿正y向分布，非对称柔性铰链整体以菱形柔性机构y向的中心线a-a为轴呈轴对称分布；所述的螺纹孔设置于两个薄壁柔性足之间，所述的惯性质量块通过螺钉安装于螺纹孔中；所述的导向单元包括薄端直线导轨、薄端滑块、厚端直线导轨和厚端滑块，薄端直线导轨和厚端直线导轨均设置于基座凸台上，薄端滑块和厚端滑块分别在薄端直线导轨和厚端直线导轨上运动，并分别通过螺钉与非对称柔性铰链上的薄端沉头孔和厚端沉头孔连接；驱动器中运动部分按照导向单元、柔性驱动单元、惯性质量块的顺序依次沿正z向分布；所述的滑轨组由一对滑轨组成，分别通过螺钉与基座连接，并设置于基座两侧，厚壁柔性足和薄壁柔性足以相同的预紧变形量内置于两个滑轨组间。

本发明的另一目的在于提供一种摩擦非对称与惯性质量耦合的冲击驱动器的耦合驱动方法，包括以下步骤：包括以下步骤：

①将驱动器中的柔性驱动单元以过盈配合的方式安装于滑轨组间，厚壁柔性足和薄壁柔性足均受到滑轨组挤压而产生相同的预紧变形量，由于两对柔性足的刚度不同，导致厚壁柔性足与滑轨组间的摩擦力大于薄壁柔性足；

②将惯性质量块通过螺钉安装于非对称柔性铰链中薄壁柔性足一侧的螺纹孔中；