[发明专利]一种清洗玻璃上钽镀层的方法及其应用在审
| 申请号： | 202210706508.8 | 申请日： | 2022-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN115090641A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;李桂鹏;江鹏飞;于凯 | 申请（专利权）人： | 同创（丽水）特种材料有限公司;丽水元能电子材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 323010 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 玻璃 镀层 方法 及其 应用 | ||
1.一种清洗玻璃上钽镀层的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
(1)将浓度为42～46wt％的氢氧化钠水溶液加热到120～140℃并保持恒温；同时，使用保护膜包裹带有钽镀层的玻璃的四周边缘；
(2)将包裹后的玻璃置于所述氢氧化钠水溶液中浸泡；
(3)取出玻璃并去除所述保护膜，依次进行清洗及烘干即可完成玻璃上钽镀层的清洗。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述保护膜包括聚酰亚胺胶带和/或丁基防水胶带。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述的浸泡时间为12～20min。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述浸泡在超声下进行。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的方法，其特征在于，步骤(3)所述清洗包括超声浸泡清洗。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述超声浸泡清洗的清洗液包括80～100℃的热水。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述超声浸泡清洗至少进行一次，且单次时间为5～15min。
8.根据权利要求1-7任意一项所述的方法，其特征在于，步骤(3)所述烘干的温度为100～120℃。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的方法，其特征在于，在步骤(3)所述烘干后，还包括使用密封膜进行封装并存放。
10.一种根据权利要求1-9任意一项所述的方法在清洗电子束炉观察窗上钽镀层的应用。
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