[发明专利]一种蝶阀、半导体设备及蝶阀的控制方法

权利要求书

1.一种蝶阀，其特征在于，包括：

阀体及配置于阀体上的控制器，

所述阀体内配置有流道，其内设有呈圆形的阀板，所述阀板的中部连接转轴，所述阀体的端部截面呈椭圆状，所述转轴连接至控制器的输出端，

基于控制器的控制所述转轴旋转带动阀板旋转，以打开或关闭所述流道。

2.如权利要求1所述的蝶阀，其特征在于，

所述阀体的两侧分别设置有第一连接部及第二连接部，所述第一连接部及所述第二连接部分别与连接管道密封连接。

3.如权利要求1所述的蝶阀，其特征在于，

所述阀板截面在阀体径向的两端为长边在阀体直径方向，短边在气体运动方向的椭圆状弧形，

阀板与通道壁之间的间隙d1＝D/2-a*cosθ，

其中，D为流道的直径，θ为阀板绕转轴旋转的角度，a为椭圆的长边长度。

4.如权利要求1所述的蝶阀，其特征在于，

所述阀板截面两端为偏心距离为R1，边缘半径为R2的偏心圆，且R1与R2均小于阀板最大半径，

阀板与通道壁之间的间隙d2＝D/2-(R1*cosθ+R2)，

其中，D为通道直径，θ为阀板绕转轴旋转的角度。

5.如权利要求1所述的蝶阀，其特征在于，

所述转轴设置有第一卡槽，所述阀板嵌置于所述第一卡槽中，并通过连接件固定连接。

6.如权利要求5所述的蝶阀，其特征在于，

所述第一卡槽的开槽深度与所述转轴的半径相等。

7.如权利要求6所述的蝶阀，其特征在于，

所述阀板中部设置第二卡槽，所述第二卡槽的开槽深度为所述阀板厚度的一半，所述第一卡槽与所述第二卡槽配合连接，使所述阀板与所述转轴的中轴线重合。

8.如权利要求1所述的蝶阀，其特征在于，

所述控制器与所述转轴之间设置有减速器。

9.一种半导体设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的蝶阀，且所述半导体设备还包括：

反应模块，其内具有反应腔，反应模块上设置有喷淋装置，所述喷淋装置连接气体供给部，通过所述喷淋装置向反应腔内送入反应气体，且所述反应模块上配置有排气口；

抽真空装置，其通过管道连接至反应模块的排气口；

所述蝶阀设置于所述反应模块与所述抽真空装置之间的连接管道。

10.一种蝶阀的控制方法，其特征在于，所述方法包括：

阀板旋转角度在0°至5°的范围内阀板的转动速度大于5°至90°范围内的阀板的转动速度。