[发明专利]一种真空双臂机器人的双臂独立控制方法

说明书

本发明属于双臂真空机器人控制领域，具体说是一种真空双臂机器人的双臂独立控制方法，包括以下步骤：上位机发送运动指令至机器人控制器；机器人控制器对运动指令进行解析，解析出上手臂指令和下手臂指令；将上手臂指令发送至规划库，获取上手臂控制参数，并根据控制参数进行规划，获取上手臂规划结果；将下手臂指令写入共享内存中，规划库获取下手臂控制参数，并根据控制参数进行规划，获取下手臂规划结果；将上述双臂规划结果分别发送至对应的机器人驱动器执行上手臂规划结果和下手臂规划结果。本发明采用双进程的双臂独立控制方法可以实现在上臂运动的过程中，然后再开始下臂的运动，双臂的开始运动时间和结束运动时间可以不同。

技术领域

本发明属于双臂真空机器人控制领域，具体说是一种真空双臂机器人的双臂独立控制方法。

背景技术

国内机器人在传输晶圆的过程中只能实现双臂的同步规划控制，即双臂同时开始运动并且同时结束运动，在真空平台中同一时刻只能针对一个工位进行晶圆传输。没办法实现双臂独立规划控制，为保证双臂机器人在传输晶圆的过程中更加灵活，迅速，双臂机器人需要开发一种双臂独立规划技术。

发明内容

本发明目的是提供一种真空双臂机器人的双臂独立控制方法，以实现在传输晶圆的过程中实现双臂的独立规划控制，以克服上述现有国内机器人只能实现双臂的同步规划控制的弊端。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：一种真空双臂机器人的双臂独立控制方法，包括以下步骤：

1)上位机发送运动指令至机器人控制器；

2)机器人控制器对运动指令进行解析，解析出上手臂指令和下手臂指令；

3)机器人控制器将上手臂指令发送至规划库，规划库在第一进程中获取上手臂控制参数，并根据控制参数进行规划，获取上手臂规划结果；

机器人控制器将下手臂指令写入共享内存中，并通过规划库进行规划，规划库在第二进程中获取下手臂控制参数，并根据控制参数进行规划，获取下手臂规划结果；

4)将上手臂规划结果和下手臂规划结果分别通过CAN总线发送至对应的上手臂机器人驱动器和下手臂机器人驱动器；

5)上手臂的机器人驱动器和下手臂的机器人驱动器分别执行上手臂规划结果和下手臂规划结果，实现真空双臂机器人的双臂独立控制。

所述步骤2)具体为：解析指令时，通过设定的指令标识分别将上手臂指令解析为上手臂对应的指令码，下手臂指令解析为下手臂对应的指令码。

所述控制参数，包括：工位信息、目标位置和速度。

步骤3)中所述规划库在第一进程中获取上手臂控制参数，具体为：

根据上手臂对应的指令码在第一进程中获取相应的工位信息、目标位置和速度并进行运动规划。

步骤3)中所述规划库在第二进程中获取下手臂控制参数，具体为：

通过共享内存获取下手臂对应的指令码，在第二进程中获取共享内存中的工位信息、目标位置、速度进行运动规划。

步骤3)中根据控制参数进行规划，获取上手臂和下手臂的规划结果，具体为：

规划开始时，分别根据上手臂和下手臂的工位信息、目标位置确定上手臂的关节值，根据速度得到周期数，进而分别获取在每个周期中上手臂的关节值和下手臂的关节值；进而根据上手臂和下手臂的关节值，得到用于控制上手臂关节的电机码盘值和用于控制下手臂关节的电机码盘值。

所述步骤5)，具体为：

所述上手臂和下手臂均由两个电机控制；