[发明专利]一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法

说明书

本发明公开了一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法；包括清理箱体；丝杆，所述丝杆连接在所述清理箱体的内部并与所述清理箱体的轴线相重合；转动支架，所述转动支架的下部与所述丝杆之间螺纹连接，所述转动支架的上部连接有与所述丝杆传动连接的传动组件；滑动支架，所述转动支架滑动连接在所述转动支架上，所述滑动支架的两侧均设置有喷头组件；该装置通过喷头组件可以吸取清理箱体中的碱性溶液，经过喷头组件喷出后作用在清理箱体的内部，进而使碱性溶液雾化，充分与尾气进行反应，进一步提高装置的清洗效果；同时高压液体直接作用在清理箱体的内壁上后，还可以将附着在内壁上尾气与溶液反应生成的残渣进行清理。

技术领域

本发明属于尾气处理技术领域，具体涉及一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法。

背景技术

CVD是Chemical Vapor Deposition的简称，是指高温下的气相反应。硬质合金刀具深加工过程中，高端硬质合金刀具均需进行涂层工序，通常在CVD涂层炉中进行。CVD涂层炉尾气中的主要成为AlCl3和TiCl4，在清理过程中，直接将尾气通入至碱性溶液进行清理，但尾气直接通入到溶液当中并不能完全使尾气中的AlCl3和TiCl4和碱性溶液完全反应；同时尾气与溶液反应后生成的沉淀物附着在设备的内壁上，影响尾气与溶液反应的同时也不好对设备的内部进行清理。

发明内容

为了解决现有技术存在的上述问题，本发明目的在于提供一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法。

本发明所采用的技术方案为：

一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，包括清理箱体；

丝杆，所述丝杆连接在所述清理箱体的内部并与所述清理箱体的轴线相重合；

转动支架，所述转动支架的下部与所述丝杆之间螺纹连接，所述转动支架的上部连接有与所述丝杆传动连接的传动组件；

滑动支架，所述滑动支架滑动连接在所述转动支架上，所述滑动支架的两侧均设置有喷头组件；所述喷头组件还设置有水泵，所述喷头组件与所述水泵之间通过导管相连接，所述水泵嵌入在碱性溶液的中。

优选的，所述丝杆的两端均转动连接在所述清理箱体上，所述丝杆的顶端连接有固定组件。

优选的，所述固定组件套设在所述丝杆上，所述固定组件包括第一电磁铁，所述第一电磁铁的移动端上固定设置有摩擦垫，所述第一电磁铁的移动端与固定端之间设置有第二弹性件。

优选的，所述传动组件包括转动连接在所述转动支架上的传动套筒，所述传动套筒上设置有凸台，所述凸台嵌入滑动连接在所述丝杆的凹槽内。

优选的，所述传动套筒上套设有滑动套筒，所述滑动套筒与所述传动套筒之间传动连接，所述滑动套筒的底端固定连接有传动轮，所述滑动套筒与所述传动套筒之间设置有第二电磁铁。

优选的，所述滑动支架上固定安装有传动条，所述传动条与所述传动轮之间传动连接。

优选的，所述滑动支架上还设置有安装耳及滑轨，所述安装耳与所述转动支架之间设置有第一弹性件，所述滑轨滑动连接在所述转动支架上。

优选的，所述清理箱体下部侧边上设置有进气孔与排液口，所述清理箱体的顶部设置有出气孔与加液口，所述加液口上设置有密封可拆卸上盖。

优选的，所述清理箱体的内部设置有凸起台，所述凸起台采用奇数设置。

一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备进行的尾气处理方法，其特征在于：该尾气处理方法包括如下步骤：

(1)利用喷头组件吸取清理箱体中的碱性溶液，经过喷头组件喷出后作用在清理箱体的内部，使碱性溶液扩散雾化；