[发明专利]可伸缩式吸气剂泵抽真空装置及应用方法

权利要求书

1.一种可伸缩式吸气剂泵抽真空装置，其特征是：包括机械泵（1）、分子泵（2）、实验平台（3）、离子泵（4）、伸缩式吸气剂泵结构（5）、真空规（6）、真空腔（7）、金属角阀（8）；

机械泵（1）与分子泵（2）相连，分子泵（2）与金属角阀（8）相连；

离子泵（4）、伸缩式吸气剂泵结构（5）、真空规（6）、金属角阀（8）分别与真空腔（7）相连；

离子泵（4）、伸缩式吸气剂泵结构（5）、真空规（6）、真空腔（7）、金属角阀（8）固定在实验平台（3）；

所述的伸缩式吸气剂泵结构（5）包括短直通管（5.1）、螺钉（5.2）、插板阀（5.3）、伸缩管（5.4）、直线导轨（5.5）、调节架（5.6）、手轮（5.7）、手摇杆（5.8）、右支架（5.11）、定位块（5.10）、左支架（5.9）、吸气剂泵（5.12）、左支架支撑（5.13）、右支架支撑（5.14）、调节丝杠（5.15）；伸缩式吸气剂泵结构（5）通过转动顺时针手轮（5.7）和手摇杆（5.8）带动调节丝杠（5.15）移动，吸气剂泵（5.12）通过直线导轨（5.5）直线运动，伸缩管（5.4）收缩，吸气剂泵（5.12）可深入真空腔内，反之逆时针转动手轮（5.7）和手摇杆（5.8），吸气剂泵（5.12）可抽出真空腔（7）内；

所述的伸缩式吸气剂泵结构（5）整体通过螺钉（5.2）刀口密封固定在真空腔（7）上，短直通管（5.1）通过螺钉与插板阀（5.3）刀口密封连接，插板阀（5.3）旋转把手控制阀板开合，可保证吸气剂泵（5.12）一直处于高真空环境，避免吸气剂泵（5.12）受到大气污染，影响吸气剂泵（5.12）使用寿命，同时插板阀（5.3）也为吸气剂泵（5.12）伸缩提供通道，保证吸气剂泵（5.12）可伸缩至真空腔（7）内，提高吸气剂泵（5.12）对真空腔（7）的有效抽速，并能保证吸气剂泵（5.12）伸长至插板阀（5.3）后侧，插板阀（5.3）旋转把手可手动转动或电动转动控制插板阀（5.3）阀板开合，插板阀（5.3）另一端通过螺钉刀口密封连接伸缩管（5.4），伸缩管（5.4）的收缩率大于或等于60%，同时也为吸气剂泵（5.12）提供可真空环境，并且伸缩管（5.4）可承受的温度大于或等于700℃，伸缩管（5.4）是焊接波纹管或者液压波纹管，伸缩管（5.4）的长度可根据吸气剂泵（5.12）长度进行不同的选择，吸气剂泵（5.12）与真空腔（7）的位置无极可调，可根据不同需求调节不同的位置，吸气剂泵（5.12）通过螺钉刀口密封连接伸缩管（5.4），伸缩管（5.4）一端支撑在左支架（5.9）上，左支架（5.9）通过螺钉固定在左支架支撑（5.13）上，整体通过螺钉固定在实验平台（3）上，两根直线导轨（5.5）安装在定位块（5.10）上，并通过螺钉固定在右支架（5.11）与左支架（5.9）上，定位块（5.10）铣有半圆槽结构用于直线导轨定位与移动，定位块（5.10）可沿着直线导轨（5.5）进行直线运动与定位，右支架支撑（5.14）支撑定位块（5.10），调节丝杠（5.15）固结在吸气剂泵（5.12）的法兰上。