[发明专利]一种基于飞秒激光的微纳结构加工方法及微纳结构

权利要求书

1.一种基于飞秒激光的微纳结构加工方法，其特征在于，所述方法包括：

设定与被加工材料对应的飞秒激光的脉宽、重频、功率、波长以及扫描速度；其中，所述脉宽为10fs～800fs，所述重频为单脉冲～500kHz，所述功率为1μW～500mW，所述波长为515nm或800nm或1030nm，所述扫描速度为10μm/s～500mm/s；

将所述飞秒激光聚焦到所述被加工材料的表面或内部，并在所述被加工材料的表面或内部加工出微纳结构。

2.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的微纳结构加工方法，其特征在于，所述被加工材料为黑色陶瓷；

则，所述设定与被加工材料对应的飞秒激光的脉宽、重频、功率、波长以及扫描速度；其中，所述脉宽为10fs～800fs，所述重频为单脉冲～500kHz，所述功率为1μW～500mW，所述波长为515nm或800nm或1030nm，所述扫描速度为10μm/s～500mm/s的步骤为：

设定飞秒激光的脉宽为300fs，重频为20kHz，功率为10mW，波长为1030nm，扫描速度为5mm/s。

3.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的微纳结构加工方法，其特征在于，所述被加工材料为白色陶瓷；

则，所述设定与被加工材料对应的飞秒激光的脉宽、重频、功率、波长以及扫描速度；其中，所述脉宽为10fs～800fs，所述重频为单脉冲～500kHz，所述功率为1μW～500mW，所述波长为515nm或800nm或1030nm，所述扫描速度为10μm/s～500mm/s的步骤为：

设定飞秒激光的脉宽为300fs，重频为20kHz，功率为15mW，波长为1030nm，扫描速度为5mm/s。

4.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的微纳结构加工方法，其特征在于，所述被加工材料为蓝宝石；

则，所述设定与被加工材料对应的飞秒激光的脉宽、重频、功率、波长以及扫描速度；其中，所述脉宽为10fs～800fs，所述重频为单脉冲～500kHz，所述功率为1μW～500mW，所述波长为515nm或800nm或1030nm，所述扫描速度为10μm/s～500mm/s的步骤为：

设定飞秒激光的脉宽为300fs，重频为20kHz，功率为20mW，波长为1030nm，扫描速度为5mm/s。

5.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的微纳结构加工方法，其特征在于，所述被加工材料为塑料；

则，所述设定与被加工材料对应的飞秒激光的脉宽、重频、功率、波长以及扫描速度；其中，所述脉宽为10fs～800fs，所述重频为单脉冲～500kHz，所述功率为1μW～500mW，所述波长为515nm或800nm或1030nm，所述扫描速度为10μm/s～500mm/s的步骤为：

设定飞秒激光的脉宽为300fs，重频为20kHz，功率为5mW，波长为1030nm，扫描速度为5mm/s。

6.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的微纳结构加工方法，其特征在于，所述将所述飞秒激光聚焦到所述被加工材料的表面或内部，并在所述被加工材料的表面或内部加工出微纳结构的步骤包括：

将所述飞秒激光聚焦到所述被加工材料的表面或内部；

在所述被加工材料的表面或内部加工出具有炫彩效果的微纳结构。

7.根据权利要求6所述的基于飞秒激光的微纳结构加工方法，其特征在于，所述在所述被加工材料的表面或内部加工出具有炫彩效果的微纳结构的步骤为：

在所述被加工材料的表面或内部加工出周期性微纳结构。

8.根据权利要求6所述的基于飞秒激光的微纳结构加工方法，其特征在于，所述在所述被加工材料的表面或内部加工出具有炫彩效果的微纳结构的步骤为：

在所述被加工材料的表面或内部加工出由至少两个所述周期性微纳结构组成的非周期性微纳结构。

9.根据权利要求7或8所述的基于飞秒激光的微纳结构加工方法，其特征在于，所述周期性微纳结构的周期为500nm～10μm。

10.一种微纳结构，其特征在于，采用如权利要求1-9中任一项所述的基于飞秒激光的微纳结构加工方法加工得到。