[发明专利]分选机装置及控制方法有效
申请号: | 202210611181.6 | 申请日: | 2022-06-01 |
公开(公告)号: | CN114682501B | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 袁慧珠;张明明 | 申请(专利权)人: | 苏州和研精密科技有限公司 |
主分类号: | B07C5/00 | 分类号: | B07C5/00;B07C5/02;H01L21/67 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 安卫静 |
地址: | 215011 江苏省苏州市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分选 装置 控制 方法 | ||
1.一种分选机装置,其特征在于,包括机架台、第一图像检测装置、第二图像检测装置、翻转台以及吹气装置;
其中,所述机架台上设有工件上料工位,所述工件上料工位处于所述第一图像检测装置的移动方向的正上方,所述第一图像检测装置对处于所述工件上料工位上方的搬运机构上的工件进行拍摄;所述工件为硅片;
搬运机构对处于所述工件上料工位的翻转盘进行上工件,所述翻转台可沿第一方向作直线往返移动地设置在所述机架台上,且在作直线往返移动地过程中,经过所述工件上料工位、所述吹气装置的下方及所述第二图像检测的下方;
所述第一图像检测装置可沿第二方向作直线往返移动地设置在所述机架台上,向上检测搬运机构搬运过来的工件的背面图像,所述第一方向与所述第二方向垂直设置;其中,所述第一图像检测装置设置在所述翻转台初始位置的下方,所述第一图像检测装置检测所述工件的背面图像之前,所述翻转台移动一段距离给所述第一图像检测装置让出工作空间;
所述第二图像检测装置向下检测吸附在所述翻转台上的工件的正面图像,且所述第二图像检测装置可沿所述第二方向作直线往返移动地设置在所述机架台上;
所述吹气装置向下对吸附在所述翻转台上的工件进行干燥;所述吹气装置设于所述工件上料工位的一侧,所述工件上料工位的另一侧上设有集水槽,所述吹气装置能够将处于所述工件上料工位处的所述翻转台上的工件上的水气吹向所述集水槽内;
所述工件上料工位处于所述第一图像检测装置的移动路径的正上方;所述吹气装置设于所述工件上料工位的一侧;所述第二图像检测装置设置于所述吹气装置远离所述工件上料工位的一侧;
所述机架台包括主机架台和辅机架台,所述辅机架台位于所述主机架台的下方,所述第二图像检测装置、翻转台以及吹气装置设置在所述主机架台上,所述辅机架台上设有第一移动模组,所述第一图像检测装置设置在所述第一移动模组的第一端上,能够在所述第一移动模组的驱动下沿所述第二方向作直线往返移动;所述第一移动模组的第一端伸出所述主机架台外侧,形成第一图像检测装置的初始位置,第一图像检测装置在未进行采集工作时,处于所述初始位置;
所述主机架台包括沿第二方向相对设置的第一安装架结构和第二安装架结构,所述第一安装架结构的高度低于所述第二安装架结构的高度,所述翻转台横跨在所述第一安装架结构和所述第二安装架结构上。
2.根据权利要求1所述的分选机装置,其特征在于,所述第二图像检测装置设置于所述吹气装置远离所述工件上料工位的一侧。
3.根据权利要求1所述的分选机装置,其特征在于,所述第一安装架结构包括至少两个第一支柱、以及设置在所述第一支柱上的第一横板;所述第二安装架结构包括至少两个第二支柱、以及设置在所述第二支柱上的第二横板,所述第二横板高于所述第一横板设置,所述第一移动模组的第一端由所述第二横板的下方伸出所述第二横板外侧,所述第一横板上设有驱动用于安装所述翻转台的翻转台安装座移动的第二移动模组,所述第二横板上设有导轨;所述主机架台还包括第一连接板和第一连接结构,所述第一连接板的上端与翻转台安装座的第一端连接,下端与所述第二移动模组连接,所述第一连接结构的下端与所述翻转台安装座的第二端连接,上端设有导轨槽,通过所述导轨槽可滑动地连接在所述导轨上。
4.根据权利要求1或2所述的分选机装置,其特征在于,所述吹气装置可沿第一方向作直线往返移动地设置在所述机架台上。
5.根据权利要求3所述的分选机装置,其特征在于,所述吹气装置包括气缸和喷嘴组件,所述喷嘴组件包括若干个成排设置的喷嘴,所述喷嘴的出风口朝向位于所述翻转台上的所述工件;所述气缸驱动所述喷嘴组件在所述机架台上沿第一方向移动。
6.根据权利要求5所述的分选机装置,其特征在于,所述喷嘴组件包括腔体,所述腔体的一侧成排设有所述喷嘴,所述喷嘴均与所述腔体连通,所述腔体的另一侧上还设有若干进气口;
和/或
所述喷嘴的出风口的角度根据所述工件的位置进行调节。
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