[发明专利]晶圆存储智能仓及其存取料方法

权利要求书

1.晶圆存储智能仓,其特征在于：其包括

多个用于放置晶圆的晶舟盒；

多个物料传送装置，所述物料传送装置包括存传送组件、存取物料抓取移动机构及窗口自动开闭机构，所述晶舟盒通过物料传送装置进行传送，所述窗口自动开闭机构用于开启或关闭智能仓，所述存取物料抓取移动机构设置在传送组件上；

检料仓，所述检料仓包括工作台、环形轨道传输机构、多个视觉检测机构、多个用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动的晶圆机械手及标签打印机；

所述环形轨道传输机构与所述物料传送装置对接，所述晶舟盒在通过存取物料抓取移动机构在物料传送装置和环形轨道传输机构之间传送；

所述环形轨道传输机构包括环形轨道、多个物料平台，所述环形轨道设置在工作台上，所述多个物料平台设置在环形轨道上，物料平台用于放置晶舟盒；

所述视觉检测机构设置在工作台上，用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；

所述标签打印机用于打印标签，标识取料晶舟盒中晶圆的信息；

多个出入仓机构，所述出入仓机构包括换向机构及出入仓物料抓取移动机构，

所述换向机构用于带动晶舟盒旋转；

所述出入仓物料抓取移动机构设置在工作台上，用于夹取晶舟盒在环形轨道传输机构与换向机构之间移动；

多个多层缓存巷道机，所述多层缓存巷道机与所述换向机构对接，所述多层缓存巷道机上设置有巷道、抓取机械手及缓存仓；

所述多层缓存巷道机在巷道上来回移动，

所述抓取机械手可上下移动和左右旋转及伸缩，所述抓取机械手用于将晶舟盒在换向机构和缓存仓之间传递；

货架，所述货架采用M列N层的结构设置储料位置，分布在所述多层缓存巷道机的两侧，所述货架用于存储所述晶舟盒；所述货架的数量和组合方式按需设置；

空气净化器，所述空气净化器用于净化晶圆存储智能仓内的空气；

空气洁净度检查装置，所述空气洁净度检查装置用于检测空气洁净度；

智能仓管理调度系统，所述智能仓管理调度系统与所述物料传送装置、检料仓、多层缓存巷道机、货架、标签打印机、空气净化器及空气洁净度检查装置绑定，用于晶圆存储智能仓的物料管理及存料、取料调度控制。

2.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述出入仓物料抓取移动机构包括立柱、气缸安装板、滑动气缸、升降气缸、夹取气缸及夹爪，所述立柱设置在工作台上，所述气缸安装板设置在立柱上，所述滑动气缸设置在气缸安装板上，所述升降气缸设置在滑动气缸上，所述夹取气缸设置在升降气缸上，所述夹爪设置在夹取气缸的两侧，所述夹爪用于夹取晶舟盒。

3.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述传送组件包括支撑柱、传送带，所述传送带设置在支撑柱上，所述存取物料抓取移动机构设置在传送带上，存取物料抓取移动机构用于将晶舟盒从传送带上夹取至所述环形轨道传输机构上，所述窗口自动开闭机构设置在支撑柱上，用于控制物料传送装置的料口的开和关。

4.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述环形轨道传输机构还包括皮带、多个皮带轮及多个推板，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动。

5.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述视觉检测机构包括固定板、隔板、第一相机、第二相机及光源，所述固定板设置在所述工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，所述第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源，所述隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽识别晶圆上的镭雕信息，定位槽用于对晶圆进行定位。

6.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述换向机构与出入仓物料抓取移动机构对接，所述换向机构包括底架、气缸固定板、旋转气缸、夹块及垫板，所述气缸固定板设置在底架上，所述气缸固定板上设置有旋转气缸，所述夹块设置在旋转气缸上，所述夹块上设置有垫板。