[发明专利]法布里帕罗微腔传感芯片及其制备方法和分子检测系统

权利要求书

1.一种用于气体分子、生物分子检测的法布里帕罗微腔传感芯片，其特征在于，包括：一根制备有微泡的毛细石英管以及微泡表面镀覆的高反射率薄膜；微泡为中空结构；微泡表面的反射膜及微泡液芯区域形成法布里帕罗微腔；毛细石英管两端开口，一端通过特氟龙管可与微流控系统连接，另一端通过特氟龙管可与待测分析物连接。

2.根据权利要求1所述的法布里帕罗微腔传感芯片，其特征在于，所述高反射率薄膜的反射率为98-100%。

3.根据权利要求1所述的法布里帕罗微腔传感芯片，其特征在于，所述高反射率薄膜为金属膜或多层高低折射率周期性交叉排列的介质薄膜。

4.根据权利要求1所述的法布里帕罗微腔传感芯片，其特征在于，所述高反射率薄膜的反射波段从近紫外光到中红外光。

5.根据权利要求1所述的法布里帕罗微腔传感芯片，其特征在于，所述石英管的直径为100-1000 μm。

6. 根据权利要求1所述的法布里帕罗微腔传感芯片，其特征在于，所述石英微泡的直径为200-1100μm，壁厚为5-15 μm，微泡的形状为扁椭球状。

7.根据权利要求1所述的法布里帕罗微腔传感芯片，其特征在于，微泡的数量为1-5个。

8.如权利要求1-7之一所述法布里帕罗微腔传感芯片的制备方法，其特征在于，具体步骤为：

（1）选取一段毛细石英微管，通过熔融鼓吹的方式，在其上面制备形状为扁椭球结构的微泡，微泡的数量为1-5个；

（2）在微泡的外表面

镀覆高反射率的金属膜或高低折射率交叉排列的介质薄膜；

（3）在毛细石英微管两端连接特氟龙管，用于与微流控系统连接，实现对于待测分析物的抽取。

9.一种基于权利要求1-7之一所述法布里帕罗微腔传感芯片的化学气体分子、生物分子检测系统，其特征在于，包括：依次连接的可调谐激光器（4），平面反射镜（5），光束准直器（6），分束器（7），聚焦物镜（8），法布里帕罗微腔传感芯片（9），聚焦物镜（10），聚焦物镜或透镜（11），光电探测器（12），形成传感光路；此为还包括依次与分束器（7）连接的聚焦物镜或透镜（14），CCD成像器件（15），组成成像光路；其中：

可调谐激光器（4）用于发出检测激光；由平面反射镜（5）将所述激光器的输出激光传输到光束准直器（6）；光束准直器用于将入射激光准直成特定大小的平行光；分束器（7）用于将所述聚焦物镜所成的像传递给CCD成像器件（15）；聚焦物镜（8）用于将准直的激光耦合到法布里帕罗微腔传感芯片（9）中，同时用于收集传感芯片的输出光以及对传感芯片进行成像；法布里帕罗微腔传感芯片（9）中英微泡的两端具有开口，一端通过特氟龙管与注射器、注射泵组成的微流控系统（16）连接，另一端通过特氟龙管与待测分析物连接；由大芯径光纤束充分收集聚焦物镜（10）收集到的输出光信号，并将其传给光电探测器（12）；光电探测器（12）接收所述的输出光信号，并将其转换成电信号传输给电脑（13）；电脑（13）用于显示光电探测器收集到的出射光谱信号，并对其进行实时处理分析；CCD成像器件（15）用于对微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片进行成像；微流控系统（16）用于抽取待测分析物到石英微泡中。