[发明专利]一种高密度高迁移率氧化物靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种高密度高迁移率氧化物靶材的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1：将构成氧化物靶材的氧化物原材料混合研磨制浆，并造粒得到造粒粉；

步骤2：将造粒粉过筛装入模具后，再放入热压炉中进行预压，预压压力为30MPa；

步骤3：将预压产物进行热压得到素坯；

步骤4：将素坯烧结即可得到氧化物靶材；

所述热压的工艺为：在真空度≤10Pa的条件下，热压温度为400~700℃，升温速率为1-3℃/min，压力大小为300~400MPa ，保温加压时间为60~90min。

2.根据权利要求1所述的高密度高迁移率氧化物靶材的制备方法，其特征在于：所述氧化物原材料由氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌组成，氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌的重量比为：0.1～8:40～92:10～28:10～25。

3.根据权利要求2所述的高密度高迁移率氧化物靶材的制备方法，其特征在于：所述氧化镨的纯度为4N、粒径为120～250nm；氧化铟的纯度为4N、粒径为120～250nm；氧化镓的纯度为4N、粒径为120～250nm；氧化锌的纯度为4N、粒径为120～250nm。

4.根据权利要求1所述的高密度高迁移率氧化物靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤1具体为：

将氧化物原材料混合研磨制浆得到混合浆料，用混合浆料进行喷雾造粒得到造粒粉；其中，混合浆料的粒径D50为0.1-1μm；造粒粉的粒径介于15-80μm之间。

5.根据权利要求1所述的高密度高迁移率氧化物靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤3具体为：

关闭热压炉的炉门，开启真空系统，进行抽真空，再进行热压得到素坯，其中，真空度≤10Pa后，热压温度为400~700℃，升温速率为2℃/min，压力大小为300~400MPa ，保温加压时间为60~90min。

6.根据权利要求1所述的高密度高迁移率氧化物靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤4具体为：

将素坯进行烧结得到高密度高迁移率氧化物靶材，其中，烧结气氛为空气气氛；先以1.0-2.0℃/min的升温速度升温至800℃；再以1-2℃/min的升温速度升温至1400-1550℃，保温10-15小时；最后以1.0-1.5℃/min的降温速度降至室温。

7.一种高密度高迁移率氧化物靶材，其特征在于，采用如权利要求1-6任一所述的方法制备得到。

8.根据权利要求7所述的高密度高迁移率氧化物靶材，其特征在于，所述氧化物靶材的相对密度≥99.4%；迁移率≥35cm²/V·s。