[发明专利]一种改性感光油墨辅助的大面积金属图案化材料及其制备方法

权利要求书

1.一种改性感光油墨辅助的大面积金属图案化材料的制备方法，其特征在于：

改性感光油墨辅助的大面积金属图案化材料按质量百分比组份包括：感光油墨， 80-95%；溶剂，5-20%；活性助剂，0.5-2%；

制备该改性感光油墨辅助的大面积金属图案化材料包括如下步骤，

涂胶：采用静态旋涂方式，得到衬底上均匀、平整分布的改性感光油墨；

前烘：涂胶完成后，将衬底上改性感光油墨放到热板上以80℃的温度加热10min；

曝光：使用紫外光刻机接触式曝光4s；

剥离：用热释放胶带将曝光得到改性感光油墨从硅衬底上剥离；

显影：采用浸没式显影，从硅衬底上剥离到热释放胶带上的改性感光油墨在显影液中显影12s；

转印：将掩模图案转印到柔性基底上；将显影后得到的热释放胶带上的改性感光油墨掩膜图案在120℃的热板上，近零应变、无损转移至柔性聚合物基底上；

薄膜沉积：利用离子束溅射金属沉积工艺在改性感光油墨掩膜图案上沉积一层金属；

干法去胶：用胶带将结构外的金属和改性感光油墨缓慢剥离，得到柔性聚合物基底上的高密度可延展金属导电结构；所选感光油墨为PR2000SA型抗蚀刻油墨。

2.根据权利要求1所述的改性感光油墨辅助的大面积金属图案化材料的制备方法，其特征在于：所选溶剂包括2-氧基乙酸乙酯、丙酮、环己酮、二价酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、醋酸丁酯、乙酸丁酯、碳酸二甲酯、丙二醇甲醚醋酸酯的至少一种。

3.根据权利要求1所述的改性感光油墨辅助的大面积金属图案化材料的制备方法，其特征在于：活性助剂包括十二烷基苯磺酸、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基酚、十二烷基醇硫酸胺中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的改性感光油墨辅助的大面积金属图案化材料的制备方法，其特征在于：所述显影液为1%氢氧化钠水溶液。

5.根据权利要求1所述的改性感光油墨辅助的大面积金属图案化材料的制备方法，其特征在于：所述柔性聚合物基底指的是聚二甲基硅氧烷或热塑性聚氨酯弹性体。