[发明专利]一种利用高级脂肪醇或高级脂肪酸转移二维材料的方法在审
申请号: | 202210573320.0 | 申请日: | 2022-05-24 |
公开(公告)号: | CN114959629A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 任文才;周天亚;徐川;成会明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | C23C16/01 | 分类号: | C23C16/01;C23C16/56;C23C16/26;C01B32/194;C30B25/00;C30B29/64;C30B33/00 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 高级 脂肪 脂肪酸 转移 二维 材料 方法 | ||
1.一种利用高级脂肪醇或高级脂肪酸转移二维材料的方法,其特征在于,高级脂肪醇或脂肪酸作为转移介质,该方法包括以下步骤:
步骤1:将加热熔融后的高级脂肪醇或脂肪酸旋涂在基体上生长的二维材料表面,然后冷却固化,得到高级脂肪醇或脂肪酸/二维材料/基体复合体;
步骤2:利用刻蚀液腐蚀掉基体,得到高级脂肪醇或脂肪酸/二维材料复合体;
步骤3:将高级脂肪醇或脂肪酸/二维材料复合体转移到温水表面,使高级脂肪醇或脂肪酸/二维材料复合体充分舒展,以消除原有的二维材料褶皱;
步骤4:将高级脂肪醇或脂肪酸/二维材料复合体转移到目标基体表面,真空热退火以去除二维材料与目标基体之间的水分,使高级脂肪醇或脂肪酸/二维材料复合体与目标基体紧密贴合:
步骤5:利用有机溶剂清洗去除高级脂肪醇或脂肪酸涂层,从而实现二维材料的转移。
2.按照权利要求1所述的利用高级脂肪醇或脂肪酸转移二维材料的方法,其特征在于,高级脂肪醇包括但不限于十一烷醇、十二烷醇、十三烷醇、十四烷醇、十五烷醇、十六烷醇、十七烷醇、十八烷醇、十九烷醇、二十烷醇、二十一烷醇、二十二烷醇之一种或两种以上;高级脂肪酸包括但不限于辛酸、癸酸、十一酸、十二酸、十三酸、十四酸、十五酸、十六酸、十七酸、十八酸、十九酸、二十酸、二十一酸、二十二酸之一种或两种以上。
3.按照权利要求1所述的利用高级脂肪醇或脂肪酸转移二维材料的方法,其特征在于,步骤1中,所转移的二维材料为生长在基体上的二维材料单晶或薄膜,基体包括但不限于铜、铁、镍、钴、铂、金、钯、SiO2/Si、蓝宝石或云母;二维材料包括但不限于石墨烯、六方氮化硼、二硫化钨、二硒化钨、二硫化钼、二硒化钼、二硫化铼、二硒化铼之一种或两种以上组成的异质结构材料。
4.按照权利要求1所述的利用高级脂肪醇或脂肪酸转移二维材料的方法,其特征在于,步骤1中,将固体的高级脂肪醇或高级脂肪酸加热到其熔点以上,并以500~3000rpm的转速旋涂到有二维材料的基体表面。
5.按照权利要求1所述的利用高级脂肪醇或脂肪酸转移二维材料的方法,其特征在于,步骤2中,所用的刻蚀液包括但不限于商用铜刻蚀液、商用金刻蚀液、稀盐酸、稀硫酸、稀硝酸、氢氟酸溶液、过硫酸铵水溶液或氢氧化钠水溶液。
6.按照权利要求1所述的利用高级脂肪醇或脂肪酸转移二维材料的方法,其特征在于,步骤3中,所用的温水保持在高级脂肪醇或脂肪酸的熔点温度以下,保持时间为1~3h。
7.按照权利要求1所述的利用高级脂肪醇或脂肪酸转移二维材料的方法,其特征在于,步骤4中,真空热退火的温度保持在高级脂肪醇或脂肪酸的熔点温度以下,退火时间为12~24h。
8.按照权利要求1所述的利用高级脂肪醇或脂肪酸转移二维材料的方法,其特征在于,步骤5中,采用有机溶剂溶解高级脂肪醇或脂肪酸,有机溶剂包括但不限于乙醇、乙醚、氯仿、己烷、丙酮、石油醚中的一种或两种以上。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
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