[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，

该激光加工装置具有：

保持工作台，其对被加工物进行保持；

激光束照射单元，其对该保持工作台所保持的被加工物会聚照射脉冲状的激光束而实施加工；以及

移动单元，其使该保持工作台和该激光束的聚光点相对地移动，

该激光束照射单元包含：

激光振荡器，其射出激光束；

fθ主透镜，其将从该激光振荡器射出的激光束会聚而向该保持工作台所保持的被加工物照射；

扫描单元，其配设于该激光振荡器与该fθ主透镜之间的光路上，扫描该激光束而向该fθ主透镜引导；以及

fθ副透镜，其配设于该激光振荡器与该扫描单元之间的光路上，使该激光束从平行光变化成扩散光。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该fθ主透镜的前侧焦点定位于在该扫描单元中从该fθ副透镜入射该激光束的扫描镜上。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，

该fθ主透镜和该fθ副透镜以相对于该扫描单元的距离和位置固定的状态进行单元化。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的激光加工装置，其中，

该扫描单元配设于腔室的内部，

该fθ主透镜和该fθ副透镜配置成使该激光束透过并且将该腔室的内部与周围的环境分离的窗状。