[发明专利]一种基于辅助波导的非线性锥形耦合器

权利要求书

1.一种基于辅助波导的非线性锥形耦合器，其特征在于，包括一个耦合器主体和两个辅助波导；所述的耦合器主体由五段宽度变化率不同的锥形波导组成，所述的耦合器主体由输入端到输出端的宽度依次减小，第一段锥形波导的初始宽度W₁＝2.5μm，第二段锥形波导的初始宽度W₂＝2.05μm，第三段锥形波导的初始宽度W₃＝1.55μm，第四段锥形波导的初始宽度W₄＝1.05μm，第五段锥形波导的初始宽度W₅＝0.55μm，第五段锥形波导的末端宽度W_t为0.2μm，五段锥形波导的长度分别为：第一段锥形波导长度L₁＝5±0.5μm、第二段锥形波导长度L₂＝4±0.4μm、第三段锥形波导长度L₃＝6±0.6μm、第四段锥形波导长度L₄＝36±0.36μm、第五段锥形波导长度L₅＝40±0.4μm；两个辅助波导对称地设置在耦合器主体第五段锥形波导的两侧，辅助波导的厚度与中间的耦合器主体相同，辅助波导的宽度设置为W_s＝0.2μm，长度与第五段锥形波导长度L₅相同，辅助波导与第五段锥形波导的间距为W_d＝0.5μm。

2.根据权利要求1所述的基于辅助波导的非线性锥形耦合器，其特征在于，所述的耦合器主体和辅助波导均采用氮化硅材料制成。

3.根据权利要求1所述的基于辅助波导的非线性锥形耦合器，其特征在于，所述的耦合器主体外部裹有二氧化硅包层。