[发明专利]基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质

权利要求书

1.一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法，其特征在于，包括：

获取数据的时域信号；

调整窗滤波器的窗范围，得到最优窗滤波器；

利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波，得到滤波后的时域信号；

对滤波后的时域信号进行傅里叶变换，得到数据的频谱信号；

判断最优窗滤波器是否移动到时域信号结束位置；

若否，则最优窗滤波器移动到下一个驻点位置，返回利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波，得到滤波后的时域信号的步骤；

若是，则生成数据的频谱信号集合；

根据数据的频谱信号集合生成频谱集合强度图；

根据频谱集合强度图，得到目标层频域间隔；

根据目标层频域间隔计算目标层厚度值；

删除滤波后的时域信号中的首个脉冲，得到数据的时域信号；

重复以上步骤，直到获得预设个数的目标层厚度值，输出预设个数的目标层厚度值。

2.根据权利要求1所述的基于太赫兹的多层膜厚测量方法，其特征在于，获取数据的时域信号的步骤之前，还包括：

设置目标层厚度值的个数为N＝0；

所述根据目标层频域间隔计算目标层厚度值的步骤之后，还包括：

目标层厚度值的个数为N＝N+1；

判断当前N是否为预设目标层厚度值的个数；

若是，则执行输出预设个数的目标层厚度值的步骤；

若否，则执行删除滤波后的时域信号中的首个脉冲，得到数据的时域信号的步骤。

3.根据权利要求1所述的基于太赫兹的多层膜厚测量方法，其特征在于，所述调整窗滤波器的窗范围，得到最优窗滤波器的步骤，包括：

获取数据的时域信号的前两个波峰或波谷范围；

根据前两个波峰或波谷范围调整窗滤波器的窗范围，使得窗范围覆盖数据的时域信号的前两个波峰，得到最优窗滤波器。

4.根据权利要求1所述的基于太赫兹的多层膜厚测量方法，其特征在于，所述频谱集合强度图的横坐标为频谱坐标，纵坐标为窗滤波器位置。

5.根据权利要求4所述的基于太赫兹的多层膜厚测量方法，其特征在于，所述根据频谱集合强度图，得到目标层频域间隔的步骤，包括：

从下至上遍历频谱集合强度图中的不同窗滤波器位置，计算不同窗滤波器位置的频域间隔，直到得到目标层频域间隔。

6.根据权利要求5所述的基于太赫兹的多层膜厚测量方法，其特征在于，所述从下至上遍历频谱集合强度图中的不同窗滤波器位置，计算不同窗滤波器位置的频域间隔，直到得到目标层频域间隔的步骤，包括：

从未参与计算的Y轴最小值开始，根据频谱集合强度图，计算当前窗滤波器位置的频域间隔；

判断当前窗滤波器位置是否存在频域间隔；

若否，则返回从未参与计算的Y轴最小值开始，根据频谱集合强度图，计算当前窗滤波器位置的频域间隔的步骤；

若是，则当前窗滤波器位置的频域间隔即为目标层频域间隔。

7.根据权利要求6所述的基于太赫兹的多层膜厚测量方法，其特征在于，所述根据频谱集合强度图，计算当前窗滤波器位置的频域间隔的步骤，包括：

基于频谱集合强度图，得到当前窗滤波器位置对应的频域信号；

根据当前窗滤波器位置对应的频域信号，计算当前窗滤波器位置对应的频域间隔。

8.根据权利要求7所述的基于太赫兹的多层膜厚测量方法，其特征在于，所述根据当前窗滤波器位置对应的频域信号，计算当前窗滤波器位置对应的频域间隔的步骤，包括：

根据当前窗滤波器位置对应的频域信号，确定频域信号中的波峰或波谷；

根据频域信号中相邻波峰或波谷之间的间隔，得到当前窗滤波器位置对应的频域间隔。