[发明专利]一种实现物料自动装载及高通量的系统

权利要求书

1.一种实现物料自动装载及高通量的系统，包括壳体(1)、加热炉(2)、石英管(3)、石英坩埚台(18)、石英坩埚(19)、动力单元，其特征在于，所述加热炉(2)通过支架固定安装在壳体(1)内腔上部，且加热炉(2)向上延伸并嵌设在壳体(1)顶壁上，所述石英管(3)水平安装在加热炉(2)的炉腔中，所述石英管(3)向两侧延伸分别贯穿加热炉(2)的两侧侧壁并延伸至加热炉(2)外腔，石英管(3)的环形侧壁一端固定套设有第一法兰(5)，且第一法兰(5)将石英管(3)的管口封闭，石英管(3)的环形侧壁另一端固定套设有第二法兰(6)，第二法兰(6)上贯通开设有与石英管(3)同轴的物料装载开口(61)，所述第二法兰(6)外侧滑动连接有用于密封物料装载开口(61)的法兰盖(8)，所述法兰盖(8)的环形侧壁向外侧延伸有法兰盖固定板(9)，且法兰盖固定板(9)的一侧侧壁固定连接在动力单元上；

所述石英坩埚台(18)滑动放置在石英管(3)内腔中，石英坩埚台(18)上端开设多个坩埚安装槽，坩埚安装槽中均设有石英坩埚(19)。

2.根据权利要求1所述的一种实现物料自动装载及高通量的系统，其特征在于，所述第一法兰(5)和第二法兰(6)可以为水冷法兰，第一法兰(5)和第二法兰(6)延其旋转方向均设有水冷腔，且两个水冷腔均通过管道贯通连接至冷却水循环装置。

3.根据权利要求1所述的一种实现物料自动装载及高通量的系统，其特征在于，所述动力单元包括电动推杆(7)和所述伸缩气缸(13)，所述电动推杆(7)和所述伸缩气缸(13)均贯穿壳体(1)的侧壁并通过支架水平固定安装在壳体(1)内腔中，且多个所述电动推杆(7)和伸缩气缸(13)独立或相互配合工作。

4.根据权利要求1所述的一种实现物料自动装载及高通量的系统，其特征在于，所述石英坩埚台(18)的侧壁上固定连接有坩埚台支架(20)，坩埚台支架(20)向靠近水冷法兰(6)的一侧延伸贯穿物料装载开口(61)并固定连接在法兰盖(8)的侧壁上。

5.根据权利要求1所述的一种实现物料自动装载及高通量的系统，其特征在于，所述坩埚台支架(20)上还套设有多个石英挡片(21)。

6.根据权利要求1所述的一种实现物料自动装载及高通量的系统，其特征在于，所述第一法兰(5)的侧壁上贯通连接有连通管(4)，连通管(4)向外侧延伸并设有真空阀(41)，真空阀(41)另一侧通过管道连接至真空泵的抽气端，所述连通管(4)的环形侧壁上还设有出气口调节阀(42)。

7.根据权利要求6所述的一种实现物料自动装载及高通量的系统，其特征在于，所述连通管(4)的环形侧壁上还设有压力传感器(43)。

8.根据权利要求1所述的一种实现物料自动装载及高通量的系统，其特征在于，所述法兰盖(8)的侧壁上贯通连接有加热炉进气口(10)，且加热炉进气口(10)上设有压力表(11)。所述石英管(3)上贯通连接有减压管，减压管向外侧延伸贯穿壳体(1)的侧壁并设有减压阀(14)，且减压阀(14)上贯通连接有减压阀调压口(15)。

9.根据权利要求1所述的一种实现物料自动装载及高通量的系统，其特征在于，所述法兰盖(8)的侧壁上还插设有热电偶(12)。

10.根据权利要求1所述的一种实现物料自动装载及高通量的系统，其特征在于，所述壳体(1)的前壁上设有控制盒(16)，控制盒(16)内置有PLC控制器，且控制盒(16)的前壁上还设有用于监视的显示屏(17)。