[发明专利]用于亚微米级反应室的电气动力装载的系统及方法

权利要求书

1.一种整合式装置，其包括：

反应室，其穿过该整合式装置的表面而形成；以及

至少一个导电层，其形成与该反应室相邻设置的至少一个电极，其中该至少一个电极在被偏压时产生辅助将样本装载至该反应室中的至少一个电场。

2.一种用于分析样本的设备，该设备包括整合式装置，该整合式装置具有：

反应室，其穿过该整合式装置的表面而形成；以及

至少一个导电层，其形成与该反应室相邻设置的至少一个电极，其中该至少一个电极在被偏压时产生辅助将样本装载至该反应室中的至少一个电场。

3.一种用于将所关注样本装载于整合式装置中的方法，该方法包括：

将包含该所关注样本的悬浮液接纳至该整合式装置的表面上，其中该悬浮液覆盖被形成至该表面中的反应室；

在第一电极与第二电极之间施加电信号；以及

产生电场，该电场操作以辅助将该所关注样本装载至该反应室中。

4.如权利要求3所述的方法，其中产生电场包括产生在通向该反应室的开口的500nm内的第一区域中具有与该第一区域外部的第二区域相比增加的强度的电场。

5.如权利要求3所述的方法，其中该第一电极位于与该反应室相邻处且该反应室具有小于一微米的最大尺寸。

6.如权利要求3至5中任一项所述的方法，其中该第一电极在该整合式装置外部且该反应室具有小于一微米的最大尺寸。

7.如权利要求3至5中任一项所述的方法，其中该电场作用于该所关注样本的方式不同于作用于该悬浮液中的其他组份的方式。

8.一种形成整合式装置的方法，包括：

在介电材料的区域上方形成至少一个导电层，其中该介电材料包括至少一个波导；

穿过该至少一个导电层形成反应室；以及

形成至少一个电极，该至少一个电极被配置以在被偏压时产生电场，该电场操作以辅助将所关注样本装载至该反应室中。

9.如权利要求8所述的方法，其中形成至少一个导电层包括在半导体区域上方形成作为该半导体区域中的集成电路的部分的导电层。

10.如权利要求9所述的方法，其进一步包括形成布置为检测来自该反应室的发射光的光检测器，其中该光检测器是该半导体区域中的该集成电路的部分。