[发明专利]光罩版清洁装置

权利要求书

1.一种光罩版清洁装置，用于清洁光罩版，其特征在于，所述光罩版清洁装置包括：

机架；

第一槽，所述第一槽设于所述机架，所述第一槽用于盛装清洗药液，所述光罩版浸入清洗药液；

第二槽，所述第二槽设于所述机架，第二槽与所述第一槽间隔设置，所述第二槽用于冲洗所述光罩版。

2.如权利要求1所述的光罩版清洁装置，其特征在于，所述光罩版清洁装置还包括帘部，所述帘部设于所述第一槽，所述帘部用于喷出清洗液以对所述光罩版冲洗。

3.如权利要求2所述的光罩版清洁装置，其特征在于，所述帘部包括顺次相连通的进管、储液腔及出口，清洗液经所述进管流入所述储液腔，清洗液经所述出口喷至所述光罩版。

4.如权利要求3所述的光罩版清洁装置，其特征在于，所述出口的高度与所述光罩版靠近所述出口的侧边的高度相应；

和/或，所述出口的长度大于所述光罩版靠近所述出口的侧边的长度；

和/或，所述进管包括干管及若干支管，所述干管通过所述支管与所述储液腔相连通，若干所述支管沿所述储液腔的长度方向均匀间隔设置。

5.如权利要求1所述的光罩版清洁装置，其特征在于，所述第一槽的底面与水平面的夹角的范围为7°-25°；所述第一槽的底面沿所述光罩版放入的方向向下倾斜；

所述第二槽的底面与水平面的夹角的范围为7°-25°；所述第二槽的底面沿所述光罩版放入的方向向下倾斜。

6.如权利要求1所述的光罩版清洁装置，其特征在于，所述光罩版清洁装置还包括若干支撑件，若干所述支撑件间隔设于所述第一槽的底部，所述光罩版放置于所述支撑件的上侧面；

或者，所述支撑件的上侧面设于防滑台阶；

和/或，所述光罩版清洁装置还包括矩形槽，所述矩形槽设于所述第一槽的侧面；

和/或，所述光罩版清洁装置还包括圆形槽，所述圆形槽设于所述第一槽的侧面。

7.如权利要求1所述的光罩版清洁装置，其特征在于，所述光罩版清洁装置还包括冲洗口，所述冲洗口设于所述第二槽，所述冲洗口用于流出冲洗液。

8.如权利要求1所述的光罩版清洁装置，其特征在于，所述光罩版清洁装置还包括第一排废管道，所述第一排废管道用于将所述第一槽内的液体排放置所述光罩版清洁装置的外部；

和/或，所述光罩版清洁装置还包括第二排废管道，所述第二排废管道用于将所述第二槽内的液体排放置所述光罩版清洁装置的外部。

9.如权利要求1所述的光罩版清洁装置，其特征在于，所述光罩版清洁装置还包括抽气组件，所述抽气组件设于所述机架的顶部，所述第一槽及所述第二槽的上方形成操作空间，所述抽气组件用于将所述操作空间内的气体排放置所述光罩版清洁装置的外部。

10.如权利要求1-8中任意一项所述的光罩版清洁装置，其特征在于，所述光罩版清洁装置还包括通信连接的第一脚踏操作部、第一控制部及第一执行部，所述第一脚踏操作部设于靠近所述第一槽的地面，所述第一脚踏操作部用于向所述第一控制部发出开启信号；所述第一控制部用于接收所述开启信号，所述第一控制部还用于向所述第一执行部发出启动信号；所述第一执行部用于接收所述启动信号，所述第一执行部还用于打开所述第一槽的帘部；

和/或，所述光罩版清洁装置还包括通信连接的第二脚踏操作部、第二控制部及第二执行部，所述第二脚踏操作部设于靠近所述第二槽的地面，所述第二脚踏操作部用于向所述第二控制部发出开启信号；所述第二控制部用于接收所述开启信号，所述第二控制部还用于向所述第二执行部发出启动信号；所述第二执行部用于接收所述启动信号，所述第二执行部还用于打开所述第二槽的冲洗口。