[发明专利]一种一维碳纳米管原子氧剥蚀率的测量方法

权利要求书

1.一种一维碳纳米管原子氧剥蚀率的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.选择测量的碳纳米管样品，并将其放置于样品台；

S2.调试测量设备，测量设备包括扫描电镜、样品柱和图像测量设备；

S3.操作测量设备，对样品台上的碳纳米管样品进行碳纳米管原子氧试验，得到测量数据；

S4.对测量数据进行数据处理，计算得到碳纳米管原子氧剥蚀率。

2.根据权利要求1所述的一种一维碳纳米管原子氧剥蚀率的测量方法，其特征在于，所述步骤S1中的碳纳米管样品选择垂直生长的碳纳米管阵列。

3.根据权利要求1所述的一种一维碳纳米管原子氧剥蚀率的测量方法，其特征在于，所述步骤S2中测量设备的调试包括以下步骤：

S21.扫描电镜：二次电子分辨率大于2nm；

S22.样品柱：工作面的高度进行调节；

S23.图像测量设备：图像测量设备的量程不小于图像尺度，读数不确定度忽略不计；

S24.标定：利用标准样块对扫描电镜进行标定。

4.根据权利要求1所述的一种一维碳纳米管原子氧剥蚀率的测量方法，其特征在于，所述步骤S3中的操作测量设备包括以下步骤：

S31.获取被测碳纳米管样品的二次电子像；

S32.将扫描电镜的样品台的倾斜角度调整到零位；

S33.选取合适的放大倍数，获取碳纳米管样品的放大图像；

S34.平移样品台，使被测碳纳米管样品分度的图像处于视场的中部，通过调节透镜电流聚焦后，获取被测碳纳米管样品分度的图像，并读取碳纳米管样品长度数据；

S35.对进行原子氧试验前的碳纳米管样品进行长度测量，得到L_1；

S36.按照GJB-2502，开展原子氧试验，试验中，碳纳米管样品的安放使得碳纳米管轴向与原子氧入射方向一致，原子氧注量为Φ；

S37.对进行原子氧试验后的碳纳米管样品进行长度测量，得到L₂。

5.根据权利要求1所述的一种一维碳纳米管原子氧剥蚀率的测量方法，其特征在于，所述步骤S4中对测量数据进行数据处理包括以下步骤：

S41.计算碳纳米管原子氧剥蚀长度△L：△L=L₁-L₂；

S42.计算碳纳米管原子氧剥蚀率k：k=△L/Φ。