[发明专利]一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法

权利要求书

1.一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)衬底预处理；

(2)靶材预处理；

(3)在射频电源的作用下，设备腔体中的氩气和氮气发生辉光放电，形成等离子体，Ar+离子轰击铝靶材，溅射出铝原子，铝原子与等离子体中的氮原子发生反应，在衬底上形成AlN缓冲层；

(4)N₂、Ar气氛下，采用磁控溅射沉积，在衬底上形成AlN薄膜；其中，磁控溅射沉积AlN薄膜时N₂与Ar体积之比为1:1-1.5。

2.如权利要求1所述的一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法，其特征在于，所述的步骤(1)的衬底预处理为：将衬底在去离子水中超声波清洗两分钟，去除表面可能附着的无机金属离子，随后在异丙醇中超声波清洗两分钟，去除表面附着的有机物，最后通过异丙醇浸泡衬底以隔绝空气。

3.如权利要求1所述的一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法，其特征在于，所述的步骤(2)的靶材预处理包括通Ar靶材预溅射和通N₂靶材预溅射。

4.如权利要求1所述的一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法，其特征在于，所述的磁控溅射采用的磁控溅射系统内设置高温加热单元，在磁控溅射系统内对衬底进行加热，加热温度在600℃至1300℃范围内。

5.如权利要求1所述的一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法，其特征在于，所述的磁控溅射的溅射电源采用射频电源。