[发明专利]一种面向末端稳定性的冂字型长探针装置

权利要求书

1.一种面向末端稳定性的冂字型长探针装置，其特征在于，包括依次连接的长探针组件(5)、调整机构和延长板(6)；所述探针组件(5)、调整机构及延长板(6)呈冂字型结构；

所述长探针组件(5)用于对被测物体基于光纤白光干涉测量原理进行测量；

所述调整机构用于调整长探针组件(5)的位置；

所述延长板(6)可调节高度，以适应不同高度的被测物体；

其中，所述长探针组件(5)包括探针外壳和光学元器件；其中，所述探针外壳包括底座(14)及与其相连的且长度可调节的探针套筒(15)；所述光学元器件包括单模光纤跳线(8)、定焦准直器(9)、垫圈(10)、卡环(11)、窗口片(12)及离轴抛物面反射镜(13)；所述单模光线跳线(8)与定焦准直器(9)连接；所述底座(14)上设有截止台面，用于固定定焦准直器(9)，使定焦准直器(9)光束出射点与离轴抛物面反射镜(13)光束入射点之间的距离与定焦准直器(9)的焦距一致；所述离轴抛物面反射镜(13)固定于底座(14)上；所述卡环(11)将窗口片(12)压紧在垫圈(10)上，密封光学元器件；

所述定焦准直器(9)用于实现光束的准直，使其对准波长与光源波长一致；其输出光束腰直径d根据下式估算：

其中，λ是所用光的波长，MFD是光纤模场直径，f是准直器的焦距；

其发散角θ_c根据下式估算：

其中，MFD是光纤模场直径，f是准直器的焦距。

2.根据权利要求1所述的面向末端稳定性的冂字型长探针装置，其特征在于，冂字型长探针装置通过延长板(6)安装在竖直位移台台面(16)上。

3.根据权利要求1所述的面向末端稳定性的冂字型长探针装置，其特征在于，所述离轴抛物面反射镜(13)绕其主体圆柱轴线的角度及其相对于底座(14)安装面的距离应使出射光束的光轴通过圆形窗口的圆心；离轴抛物面反射镜(13)用于将光束进行聚焦。

4.根据权利要求1所述的面向末端稳定性的冂字型长探针装置，其特征在于，所述单模光线跳线(8)用于传输测量臂光束，将携带光程信息的光信号反馈回白光干涉仪进行处理，其工作波长包含光源波长。

5.根据权利要求1所述的面向末端稳定性的冂字型长探针装置，其特征在于，探针套筒(15)包括若干探针子套筒，探针子套筒间通过螺纹或卡扣形式进行固定，以此调节探针套筒(15)的长度。

6.根据权利要求1所述的面向末端稳定性的冂字型长探针装置，其特征在于，所述调整机构包括依次连接的手动旋转台(7)、手动平移台(1)、手动摆角器(2)、支杆(3)及旋转安装座(4)。

7.根据权利要求6所述的面向末端稳定性的冂字型长探针装置，其特征在于，所述手动旋转台(7)用于使其台面上安装的所有元器件一同绕其旋转轴线旋转，所述手动平移台(1)用于使其台面上安装的所有元器件一同进行平移，所述手动摆角器(2)用于使其台面上安装的所有元器件一同随台面摆动，所述旋转安装座(4)用于固定长探针组件并能够使探针组件绕其轴线转动。

8.根据权利要求1所述的面向末端稳定性的冂字型长探针装置，其特征在于，所述延长板(6)的横截面是工字型。