[发明专利]一种perc电池的扩散退火工艺

说明书

本发明涉及perc电池技术领域，具体地说，涉及一种perc电池的扩散退火工艺。其包括以下步骤：将扩散炉石英管连接三氯氧磷扩散源，升温，通入携带扩散源的氮气和氧气至石英管中进行饱和工作；将硅片插入至石英舟，并将装满硅片的石英舟放置在碳化硅臂浆上，缓缓推入至扩散炉中；通入氧气，将石英管升温，通入氧气和携带扩散源的氮气，进行扩散；扩散结束后，温度持续下降一次退火，退火前加入氧气和足量的携带扩散源的氮气，温度缓缓下降，通入氧气和氮气进行二次退火；该perc电池的扩散退火工艺中，在退火工作时，进行两次退火工作，可保证退火工作时，进入使得硅片内部磷源充足，在降温时进行磷源的持续性补充。

技术领域

本发明涉及perc电池技术领域，具体地说，涉及一种perc电池的扩散退火工艺。

背景技术

除了产业化运用新技术外，太阳电池制作中的工艺优化也是非常重要的，太阳电池产业化所面临的重要问题之一是如何在保证电池高转换效率前提下提高产能，扩散制作pn结是晶体硅太阳电池的核心，是电池质量好坏的关键之一。

通常情况下，可采取下列方法将掺杂剂原子引入硅中网：高温下汽相形成的化学源扩散；掺杂氧化物源的扩散；离子注入层的退火与扩散。perc太阳电池制作中的扩散工艺主要采用高温化学源扩散。

现有的扩散工艺，在退火时一般只通入保护性的氮气，导致硅片中磷源含量较少，杂质数量增多，影响太阳能电池的产能，因此需要一种新型的perc电池的扩散退火工艺来改善现有技术的不足。

发明内容

本发明的目的在于提供一种perc电池的扩散退火工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种perc电池的扩散退火工艺，包括以下步骤：

S1、将扩散炉石英管连接三氯氧磷扩散源，升温至880-920℃，通入携带扩散源的氮气和氧气至石英管中1-2h进行饱和工作；

S2、将硅片插入至石英舟，并将装满硅片的石英舟放置在碳化硅臂浆上，缓缓推入至扩散炉中；

S3、温度为600-650℃通入氧气，用于在硅片表面形成第一层氧化硅，维持12-17min，将石英管升温880-920℃，通入氧气和携带扩散源的氮气，进行扩散，维持5-10min，扩散源在高温下生成五氯化磷和五氧化二磷，五氧化二磷通过扩散与硅反应形成氧化硅和磷原子，由于氧气的加入五氯化磷与氧气反应，分解成五氧化二磷和氯气，生成的五氧化二磷再一次与硅反应；

S4、扩散结束后，温度持续下降至720-780℃一次退火，退火前加入氧气和足量的携带扩散源的氮气，持续5-10min，温度缓缓下降至600℃以下时，通入氧气和氮气进行二次退火，然后进行保温15-25min，退火时加入携带扩散源的氮气，可保证退火工作时，进入使得硅片内部磷源充足，当温度下降时，扩散源已无法分解，若再次进入扩散源会导致材料流失，提高成本，通入氧气目的为了与残留扩散源分解物反应，在降温时进行磷源的持续性补充；

S5、最后将石英舟取出，再取出硅片冷却至室温后存放至硅片盒中即可。

作为本技术方案的进一步改进，所述S4中，温度下降至600℃以下时，分为3个阶段，第一阶段下降至680-700℃保温5min，第二阶段下降至620-650℃保温5min，第三阶段下降至600℃以下保温15-25min，每个阶段均缓慢降温15-20min。

通过分阶段缓慢降温，可以延续第一次退火中的反应时间，同时逐步扩展至第二退火工序。

作为本技术方案的进一步改进，所述扩散炉外壁设置有温度传感器和环绕所述扩散炉外壁设置的冷却液循环管路，控制系统根据温度来控制冷却液循环管路的流速进而保证退火时间以及保温时间。

通过温度传感器与控制系统的联动，保证任何工序下可以可控的地实现温度和时间的精准设定，保证工艺的顺利和智能运行。