[发明专利]光学调整装置、光学调整方法以及光器件在审
申请号: | 202210500829.2 | 申请日: | 2022-05-09 |
公开(公告)号: | CN115371575A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 古田宽和;镰谷淳一;白石龙朗 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | G01B11/14 | 分类号: | G01B11/14;G02B6/30;G02B6/38 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 齐秀凤 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 调整 装置 方法 以及 器件 | ||
1.一种光学调整装置,是在将第1光纤与连接目标的光学基板连接时使用的光学调整装置,具备:
测定光照射部,具有多个第2光纤,经由所述多个第2光纤将具有单一波长的多个光在相互不同的定时射出;
光纤块,对所述第1光纤以及所述多个第2光纤的射出侧端部进行保持;
光检测部,经由所述多个第2光纤对由所述光学基板的基板端面反射的与所述多个光对应的多个反射光进行受光并进行检测;
倾斜度计算部,对所述多个反射光中的每个反射光的强度的时间变化相互进行比较,基于比较结果来计算所述光纤块相对于所述光学基板的倾斜度;和
距离计算部,基于所述多个反射光之中至少1个反射光的强度的时间变化,计算所述光学基板与所述光纤块的端面间距离。
2.根据权利要求1所述的光学调整装置,其中,
所述多个第2光纤包括被配置为将射出端面彼此相互连结的多个线构成三角形的3个光纤。
3.根据权利要求2所述的光学调整装置,其中,
所述多个第2光纤具有相互不同的光路长度。
4.根据权利要求3所述的光学调整装置,其中,
所述测定光照射部具备:
光源,射出具有单一波长的光;和
光耦合器,将从所述光源射出的光分支成强度相互相等的所述多个光,并将所述多个光分别导光至所述多个第2光纤。
5.根据权利要求3或4所述的光学调整装置,其中,
所述倾斜度计算部计算绕第1轴的所述光纤块相对于所述光学基板的倾斜度θx、以及绕与所述第1轴垂直的第2轴的所述光纤块相对于所述光学基板的倾斜度θy。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的光学调整装置,其中,
所述倾斜度计算部基于所述多个强度的时间变化来计算与所述多个反射光分别对应的多个强度的累计值,并对所述多个强度的累计值相互进行比较。
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的光学调整装置,其中,
所述倾斜度计算部对所述多个强度的时间变化中的与所述多个反射光分别对应的多个峰宽度相互进行比较。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的光学调整装置,其中,
还具备:倾斜度调整部,基于计算出的所述倾斜度来调整所述光纤块相对于所述光学基板的相对姿势。
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的光学调整装置,其中,
还具备:距离调整部,对所述光纤块相对于所述光学基板的相对距离进行调整。
10.根据权利要求1至9中的任一项所述的光学调整装置,其中,
所述距离计算部基于所述光纤块位于不同位置时的所述反射光的强度的累计值的差分,计算所述光学基板与所述光纤块的端面间距离。
11.根据权利要求1至10中的任一项所述的光学调整装置,其中,
所述距离计算部基于所述光纤块位于不同位置时的所述反射光的强度的时间变化中的表示峰位置的时间,计算所述光学基板与所述光纤块的端面间距离。
12.一种光学调整方法,是在将第1光纤与连接目标的光学基板连接时进行的光学调整方法,在该光学调整方法中,
通过光纤块对所述第1光纤以及测定用的多个第2光纤的射出侧端部进行保持,
经由所述多个第2光纤将具有单一波长的多个光在相互不同的定时射出,
经由所述多个第2光纤对由所述光学基板的基板端面反射的与所述多个光对应的多个反射光进行受光并进行检测,
对所述多个反射光中的每个反射光的强度的时间变化相互进行比较,基于比较结果来计算所述光纤块相对于所述光学基板的倾斜度,
基于所述多个反射光之中至少1个反射光的强度的时间变化,计算所述光学基板与所述光纤块的端面间距离。
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