[发明专利]一种有色光阻材料及其制备方法和用途在审

专利信息
申请号: 202210494953.2 申请日: 2022-05-07
公开(公告)号: CN114995057A 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 冯旭平;王钧;江建国 申请(专利权)人: 浙江鑫柔科技有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G06F3/041
代理公司: 北京市中伦律师事务所 11410 代理人: 王奕勋
地址: 314500 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 色光 材料 及其 制备 方法 用途
【权利要求书】:

1.一种有色光阻材料,其特征在于,基于所述有色光阻材料的总重量,所述有色光阻材料包含0.5-15wt%的无机染料。

2.根据权利要求1所述的有色光阻材料,其中,所述有色光阻材料为负性光阻材料,其还包含以下组分:10-30wt%的树脂;5-50wt%的多官能团丙烯酸单体;0.5-10wt%的光引发剂;0.1-2wt%的流平剂;以及补足量的有机溶剂。

3.根据权利要求2所述的有色光阻材料,其中,所述树脂选自芳香酸丙烯酸特种齐聚物、聚酯丙烯酸酯齐聚物、环氧丙烯酸酯齐聚物、有机硅改性丙烯酸酯齐聚物和聚氨酯丙烯酸酯齐聚物中的一种或多种。

4.根据权利要求2所述的有色光阻材料,其中,所述多官能团丙烯酸单体选自烷氧基化双酚A二(甲基丙烯酸酯)、乙烯基醚类丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)、季戊四醇三丙烯酸酯(PETA)、三(2-羟乙基)异氰脲酸三丙烯酸酯、乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯(PETTA)、三缩三羟甲基丙烷四丙烯酸酯(DTMPTA)、二季戊四醇五丙烯酸酯(DPPA)和二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA)中的一种或多种。

5.根据权利要求2所述的有色光阻材料,其中,所述光引发剂选自苯偶姻及衍生物、苯偶酰类、烷基苯酮类、α-羟基酮衍生物、α-氨基酮衍生物、苯甲酰甲酸酯类、酰基磷氧化物、二苯甲酮类、硫杂蒽酮类、蒽醌及其衍生物和肟酮酯类衍生物中的一种或多种。

6.根据权利要求2所述的有色光阻材料,其中,所述流平剂选自改性有机硅类、丙烯酸酯类和含氟类流平剂中的一种或多种。

7.根据权利要求2所述的有色光阻材料,其中,所述有机溶剂选自乙醇、异丙醇、乳酸乙酯、乙酸丁酯、丁酮、丙酮、丙二醇甲醚醋酸酯和丙二醇甲醚醋酸酯中的一种或多种。

8.根据权利要求2所述的有色光阻材料,其中,所述有色光阻材料还包含阻聚剂,优选地,所述阻聚剂为酚类、醌类、芳胺类、芳烃硝基化合物或三(N-亚硝基-N-苯基羟胺)铝盐。

9.根据权利要求1所述的有色光阻材料,其中,所述有色光阻材料为正性光阻材料,其还包含以下组分:20-80wt%的树脂;5-20wt%的光引发剂;0.5-5wt%的流平剂;以及补足量的有机溶剂。

10.根据权利要求9所述的有色光阻材料,其中,所述树脂为线性酚醛类聚合物。

11.根据权利要求9所述的有色光阻材料,其中,所述光引发剂选自芳基重氮盐、二芳基碘鎓盐、三芳基硫鎓盐、邻重氮萘醌化合物和芳茂铁中的一种或多种。

12.根据权利要求9所述的有色光阻材料,其中,所述流平剂选自改性有机硅类、丙烯酸酯类和含氟类流平剂中的一种或多种。

13.根据权利要求9所述的有色光阻材料,其中,所述有机溶剂选自乙醇、异丙醇、乳酸乙酯、乙酸丁酯、丁酮、丙酮、丙二醇甲醚醋酸酯和丙二醇甲醚醋酸酯中的一种或多种。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的有色光阻材料,其中,所述无机染料选自炭黑或钛黑类无机染料,优选地所述炭黑或钛黑的粒度不高于100nm。

15.一种用于制备根据权利要求1至14中任一项所述的有色光阻材料的方法,其包括:在制备所述有色光阻材料的过程中添加无机染料,其中基于所述有色光阻材料的总重量,所述无机染料的含量为0.5-15wt%。

16.根据权利要求1至14中任一项所述的有色光阻材料用于制备双面金属网格触控传感器的用途。

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