[发明专利]驱动背板及其制备方法、显示面板在审
| 申请号: | 202210494870.3 | 申请日: | 2022-05-07 |
| 公开(公告)号: | CN114883358A | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
| 发明(设计)人: | 李柱辉;李燕芬 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L33/62;G09F9/33;G09F9/30 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 孟霞 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 驱动 背板 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
1.一种驱动背板,其特征在于,包括:
基板;
多条信号线,排布在所述基板的一侧;
多条辅助信号线,设置在所述信号线远离所述基板的一侧,每条所述辅助信号线与对应的一条所述信号线电连接;以及
遮光层,设置在所述辅助信号线远离所述信号线的一侧;
其中,所述辅助信号线在所述基板上的正投影落在与其电连接的所述信号线在所述基板上的正投影范围内,所述遮光层在所述基板上的正投影与所述辅助信号线在所述基板上的正投影重合。
2.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,多条所述信号线包括多条沿第一方向间隔排布的数据线和多条沿第二方向间隔排布的栅极扫描线,则多条所述辅助信号线包括与所述数据线电连接的辅助数据线以及与所述栅极扫描线电连接的第一辅助栅极扫描线;其中所述数据线和所述栅极扫描线绝缘交叉限定出多个子像素。
3.根据权利要求2所述的驱动背板,其特征在于,多条所述信号线还包括多条沿所述第一方向延伸的第一电源线和多条沿所述第二方向延伸的第二电源线,则多条所述辅助信号线包括与所述第一电源线电连接的第一辅助电源线以及与所述第二电源线电连接的第二辅助电源线;其中每个所述子像素包括第一电极和第二电极,所述第一电源线与所述第一电极电连接,所述第二电源线与所述第二电极电连接。
4.根据权利要求3所述的驱动背板,其特征在于,每个所述子像素还包括多个薄膜晶体管,所述第一电源线通过多个所述薄膜晶体管与所述第一电极电连接;其中每个所述薄膜晶体管包括栅极、源极和漏极,所述栅极扫描线以及所述第一电源线与所述栅极同层设置,所述数据线以及所述第二电源线与所述源极和所述漏极同层设置。
5.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述辅助信号线与所述遮光层之间设置有介电层,所述介电层在所述基板上的正投影与所述遮光层在所述基板上的正投影重合。
6.一种驱动背板制备方法,其特征在于,包括:
提供基板;
在所述基板上制备多条信号线;
在所述信号线远离所述基板的一侧制备多条辅助信号线和遮光层,所述遮光层位于所述辅助信号线远离所述信号线的一侧,使每条所述辅助信号线与对应的一条所述信号线电连接,且所述辅助信号线在所述基板上的正投影落在与其电连接的所述信号线在所述基板上的正投影范围内,所述遮光层在所述基板上的正投影与所述辅助信号线在所述基板上的正投影重合。
7.根据权利要求6所述的驱动背板制备方法,其特征在于,所述在所述基板上制备多条信号线的步骤包括:
在所述基板上沉积第一金属层和第二金属层,图案化所述第一金属层和所述第二金属层形成多条所述信号线。
8.根据权利要求7所述的驱动背板制备方法,其特征在于,所述在所述信号线远离所述基板的一侧制备多条辅助信号线和遮光层的步骤,包括:
在多条所述信号线以及所述基板上依次沉积第三金属层、无机薄膜、遮光薄膜;
分别图案化所述遮光薄膜、所述无机薄膜、所述第三金属层以形成所述遮光层、介电层、多条所述辅助信号线。
9.根据权利要求8所述的驱动背板制备方法,其特征在于,所述分别图案化所述遮光薄膜、所述无机薄膜、所述第三金属层以形成所述遮光层、介电层、多条所述辅助信号线的步骤,包括:
采用黄光工艺刻蚀所述遮光薄膜形成所述遮光层;
以所述遮光层为掩膜采用干法刻蚀对所述无机薄膜进行刻蚀以暴露出所述第三金属层,并同时形成所述介电层;
以所述遮光层为掩膜采用湿法刻蚀对所述第三金属层进行刻蚀以形成所述辅助信号线。
10.一种显示面板,其特征在于,包括如权利要求1至5中任一项所述的驱动背板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





