[发明专利]料盘定位治具、物料运载模组及划片机

说明书

本申请实施例提供了一种料盘定位治具、物料运载模组及划片机，涉及半导体加工技术领域，其中料盘定位治具包括：承载底板；固定定位块，包括固设在承载底板的承载面上的第一固定定位块、第二固定定位块；活动定位机构，包括处于承载面上的活动定位块、设置在承载底板的背面的第一直线驱动机构，活动定位块上设置有相互垂直的第一定位面、第二定位面，第一固定定位块、第二固定定位块以及活动定位块之间围成放置料盘的放置区间，第一直线驱动机构用于驱动活动定位块做直线往返运动，以将放置在放置区间的料盘抵推至与第一固定定位块、第二固定定位块接触定位。该方案避免了现有技术中两个定位方向上运动不同步的问题，提高了对料盘的定位精度。

技术领域

本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，本申请涉及一种料盘定位治具、物料运载模组及划片机。

背景技术

在划片机中经加工的物料需要通过物料装载模组装载到物料运载模组的矩形料盘中，然后再由物料运载模组运送至预定位置，由另外的物料装载模组从料盘中取出并装载到对应的加工完物料的放置盒中。同样，待加工的物料也需要通过物料运载模组装载到料盘中再运送至加工位，然后经物料装载模组从料盘中取出放置在加工位，以供加工。其中，为了便于物料装载模组准确将物料（待加工的物料或加工完的物料）装载至料盘、以及从料盘中准确取出加工完的物料，需要在将料盘放置在物料运载模组中后，利用物料运载模组中的料盘定位治具对料盘进行定位。

现有的料盘定位治具包括两个相互垂直设置的固定定位块和两个相互垂直设置的活动定位块，在对料盘进行定位时，通过两个不同气缸分别驱动活动定位块，将料盘推动抵紧至对应的固定定位块，从而完成料盘的定位。但是，由于两个活动定位块采用不同的气缸进行驱动，需要在承载板的背面沿X方向、Y方向分别设置两个气缸来进行驱动，两个气缸的设置不仅成本高，而且占据承载板背面的空间大，不利于其他部件在承载板上的布局，且料盘在放置到料盘定位治具里时，会贴两个相互垂直的固定定位块放置，即料盘与两个固定定位块之间的间距很小，而由于两个不同的气缸不能保证完全同步，使得两个活动定位块中有一个活动定位块会先于另一活动定位块很多将料盘的一边抵紧至对应的固定定位块，在一边被抵紧的情况下，另一个活动定位块无法将料盘的另一边抵紧至对应的固定定位块，导致无法对料盘进行精确定位，进而使得物料装载模组无法从料盘中精确装载或取出物料，打乱划片机的生产节奏，甚至造成物料损坏等严重事故。

发明内容

本申请的目的旨在至少能解决上述的技术缺陷之一，本申请实施例所提供的技术方案如下：

第一方面，本申请实施例提供了一种料盘定位治具，包括：

承载底板；

固定定位块，包括固设在承载底板的承载面上的第一固定定位块、第二固定定位块，第一固定定位块的长度延伸方向与第二固定定位块的长度延伸方向之间形成第一直角；

活动定位机构，包括处于承载面上的活动定位块、设置在承载底板的背面的第一直线驱动机构，以及将活动定位块与第一直线驱动机构连接的连接机构；

活动定位块上设置有相互垂直的第一定位面、第二定位面，第一定位面与第二定位面之间形成的夹角为第二直角，且第二直角与第一直角相对设置，第一固定定位块、第二固定定位块以及活动定位块之间围成放置料盘的放置区间，且连接机构与活动定位块连接位置可调，通过调节连接机构与活动定位块的连接位置，使得当活动定位块处于初始位置时，放置区间的长度与料盘的长度之间的长度差和放置区间的宽度与料盘的宽度之间的宽度差相等；

第一直线驱动机构用于驱动活动定位块沿第二直角的角平分线方向的路径做直线往返运动，以将放置在放置区间的料盘抵推至与第一固定定位块、第二固定定位块接触定位。

在本申请的一种可选实施例中，第一直线驱动机构为第一气缸或第一液压缸或第一电动缸，连接机构为T型连接片，活动定位块上还设置有连接面，连接面分别与第一定位面和第二定位面成45度夹角，且T型连接片的横板与连接面连接，T型连接片的竖板与第一气缸或第一液压缸或第一电动缸的活塞杆连接。