[发明专利]一种薄晶片用厚度自动筛选分类设备及方法有效

专利信息
申请号: 202210486797.5 申请日: 2022-05-06
公开(公告)号: CN114582764B 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 廖小明;王军涛 申请(专利权)人: 成都泰美克晶体技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B07C5/06;B07C5/36;B07C5/38
代理公司: 成都博领众成知识产权代理事务所(普通合伙) 51340 代理人: 宋红宾
地址: 610097 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶片 厚度 自动 筛选 分类 设备 方法
【权利要求书】:

1.一种薄晶片用厚度自动筛选分类设备,其特征在于:包括机架(1)、控制系统、上料装置、收料装置和抓取装置,所述控制系统、所述上料装置、所述收料装置和所述抓取装置均固定设置在所述机架(1)上,所述控制系统控制所述抓取装置将所述上料装置上的晶片(2)经检测后抓取投放在所述收料装置上,所述上料装置和所述抓取装置均与所述控制系统的微控制器电连接;

所述上料装置包括支撑座(3)、第一滑动座(4)、导向限位组件、晶片弹夹(5)、弹夹挡板(6)、第一高度调节组件、第一绝缘板(7)和下电极板(8),所述支撑座(3)通过底座(9)固定设置在所述机架(1)上,所述支撑座(3)上固定设置有气压缸(10),所述气压缸(10)上的活塞杆与设置在所述导向限位组件上的所述第一滑动座(4)固定相连,所述导向限位组件和所述第一绝缘板(7)均与所述支撑座(3)固定相连,所述下电极板(8)固定设置在所述第一绝缘板(7)上,所述晶片弹夹(5)设置在所述第一滑动座(4)上,所述弹夹挡板(6)通过所述第一高度调节组件固定设置在所述第一滑动座(4)上,所述弹夹挡板(6)的下侧设置有可拆卸的调节板(11),所述晶片弹夹(5)的下端与所述下电极板(8)上表面之间的距离小于一个所述晶片(2)的厚度,所述调节板(11)下端与所述下电极板(8)上表面之间的距离大于一个所述晶片(2)的厚度且小于两个所述晶片(2)的厚度,所述下电极板(8)上设置有若干用于固定所述晶片(2)的吸气孔(12),所述吸气孔(12)和所述气压缸(10)均通过控制阀与气源相连,所述下电极板(8)与测厚度模块电连接,所述测厚度模块和所述控制阀均与所述微控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种薄晶片用厚度自动筛选分类设备,其特征在于:所述抓取装置包括第二滑动座(13)、第二高度调节组件、真空吸头(14)、上电极板(15)和第二绝缘板(16),所述第二滑动座(13)通过轨道座(17)设置在所述底座(9)上,所述轨道座(17)上设置有用于驱动所述第二滑动座(13)在所述轨道座(17)上滑动的伺服电机(18),所述上电极板(15)固定设置在所述真空吸头(14)的下端,所述真空吸头(14)的上端通过所述第二绝缘板(16)固定在所述第二高度调节组件上,所述第二高度调节组件固定设置在所述第二滑动座(13)上,所述上电极板(15)与测厚度模块电连接,所述真空吸头(14)与所述控制阀相连,所述伺服电机(18)与所述微控制器电连接。

3.根据权利要求2所述的一种薄晶片用厚度自动筛选分类设备,其特征在于:所述第一高度调节组件和所述第二高度调节组件均包括固定块(19)、滑块(20)、拉簧(21)、千分尺(22)和滑板(23),所述滑板(23)与所述固定块(19)固定相连,所述滑块(20)设置在所述滑板(23)上且可在所述滑板(23)上滑动,所述拉簧(21)的一端与所述固定块(19)相连,所述拉簧(21)的另一端与所述滑块(20)相连,所述千分尺(22)固定设置在所述固定块(19),且所述千分尺(22)的尖部作用在所述滑块(20)上。

4.根据权利要求2或3任一项所述的一种薄晶片用厚度自动筛选分类设备,其特征在于:所述收料装置包括至少两个相同且设置在所述底座(9)上的收料盒(24),多个所述收料盒(24)呈一条直线的布置,且方向布置与所述第二滑动座(13)滑动方向相同,所述收料盒(24)上端平面不高于所述下电极板(8)的上侧平面,所述收料盒(24)上相对的两侧设置有用于取出所述晶片(2)的取料槽(25)。

5.根据权利要求2或3任一项所述的一种薄晶片用厚度自动筛选分类设备,其特征在于:所述导向限位组件包括导向杆(26)、第一限位传感器(27)和第二限位传感器(28),所述导向杆(26)的两端均固定设置在所述支撑座(3)上,所述第一滑动座(4)设置在所述导向杆(26)上且可在所述导向杆(26)上滑动,所述第一限位传感器(27)和所述第二限位传感器(28)均设置在所述支撑座(3)的两端上,且所述第一限位传感器(27)和所述第二限位传感器(28)均与所述第一滑动座(4)配合,所述第一限位传感器(27)靠近所述气压缸(10)侧设置,所述第一限位传感器(27)和所述第二限位传感器(28)均与所述微控制器电连接。

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