[发明专利]一种基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法在审

专利信息
申请号: 202210466601.6 申请日: 2022-04-29
公开(公告)号: CN114719788A 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 赖涛;彭小强;戴一帆;刘俊峰;胡皓;关朝亮 申请(专利权)人: 中国人民解放军国防科技大学
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 谭武艺
地址: 410073 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 标准 准值仪 导轨 误差 测量方法
【权利要求书】:

1.一种基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,包括:

1)将标准平晶固定于被测量的导轨的X轴滑块上以随X轴滑块一起运动;

2)调整标准平晶的平晶面与导轨的运动方向平行;

3)将自准直仪的光束对准平晶面的中心并使其经平晶面反射后射入自准直仪,将自准直仪固定不动,调整自准直仪至工作状态;

4)静置自准直仪与标准平晶至自准直仪示数产生微小跳动时跳转下一步;

5)控制X轴滑块与标准平晶沿着X轴方向移动,并通过自准直仪测量得到光轴与Z方向的夹角作为滚动角误差。

2.根据权利要求1所述的基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,步骤5)中还包括通过自准直仪测量得到光轴与X方向的夹角作为偏转角误差。

3.根据权利要求1或2所述的基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,步骤1)之后还包括:

S1)调整标准平晶的平晶面与导轨的运动方向垂直;

S2)将自准直仪的光束对准平晶面的中心并使其经平晶面反射后射入自准直仪,将自准直仪固定不动,调整自准直仪至工作状态;

S3)静置自准直仪与标准平晶至自准直仪示数产生微小跳动时跳转下一步;

S4)控制X轴滑块与标准平晶沿着X轴方向移动,并通过自准直仪测量得到光轴与Z方向的夹角作为俯仰角误差。

4.根据权利要求3所述的基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,步骤S4)中还包括通过自准直仪测量得到光轴与Y方向的夹角作为偏转角误差。

5.根据权利要求4所述的基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,步骤5)中还包括重复多次测量得到多个滚动角误差,并计算多个滚动角误差的最大值和最小值之间的差值的步骤;步骤5)中还包括重复多次测量得到多个偏转角误差,并计算多个偏转角误差的最大值和最小值之间的差值的步骤;步骤5)中还包括重复多次测量得到多个俯仰角误差,并计算多个俯仰角误差的最大值和最小值之间的差值的步骤。

6.根据权利要求1所述的基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,所述标准平晶的平晶面面形精度小于100nm PV。

7.根据权利要求6所述的基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,所述标准平晶的长度不小于被测量的导轨的行程。

8.根据权利要求1所述的基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,所述标准平晶的平晶面上设有一条沿着标准平晶的长度方向布置的基准线,步骤5)中通过自准直仪测量得到光轴与Z方向的夹角作为滚动角误差时,包括将自准直仪沿着标准平晶的平晶面上基准线进行测量。

9.根据权利要求1所述的基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,所述自准直仪示数产生微小跳动是指自准直仪接入电脑端后软件界面显示测量角度示数小于设定下限值的跳动。

10.根据权利要求1所述的基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法,其特征在于,步骤4)之后、步骤5)之前还包括对静止状态下的系统误差进行标定,以获得测量光轴与X方向的夹角的静态误差和测量光轴与Z方向的夹角的静态误差。

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